Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #9253879 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Expedius + est une station humide avec des fonctionnalités avancées conçues pour optimiser le traitement des dispositifs dans le processus d'assemblage des semi-conducteurs. La station humide est conçue pour offrir des conditions optimales pour le traitement des appareils. Ceci se fait par l'intermédiaire d'un équipement de distribution de gaz atmosphérique à double chambre qui délivre des gaz secs et humides dans la chambre à plasma. Le système à gaz sec comprend un régulateur de débit massique (MFC) pour contrôler le débit, et un transducteur de pression numérique (DPT) pour mesurer la pression réelle à l'intérieur de la chambre. Il comporte également un moniteur de gaz qui mesure la composition du gaz dans tout le volume de la chambre et compense la contamination particulaire du gaz sec. Dans l'unité de gaz humide, on utilise un MFC pour contrôler le débit et un DPT pour mesurer la pression de la chambre. Un moniteur d'humidité est utilisé pour mesurer l'humidité dans la chambre, ce qui permet d'assurer des conditions optimales de traitement humide. La station humide est également calibrée pour le dépôt de films humides avec un réglage fin de la vitesse de dépôt. La station humide utilise également une large gamme de températures. Il peut fonctionner à des températures aussi basses que -50 ° C et aussi élevées que 250 ° C Cette large gamme permet un réglage plus précis de la vitesse de dépôt, ainsi qu'une plus grande gamme de possibilités de traitement des dispositifs. Cette gamme assure également la sécurité du personnel et des équipements. La station humide dispose également d'une machine d'échappement automatisée qui permet une évacuation sûre et efficace des composés usés et usés. Cet outil dispose d'un obturateur motorisé et d'un dispositif de ventilation rapide qui peut s'ouvrir et se fermer avec une vitesse inégalée. Enfin, la station humide est équipée d'un algorithme de processus avancé. Cet algorithme est conçu pour assurer une intégration optimale des paramètres humides et secs, assurant un contrôle fiable du traitement des dispositifs. Globalement, TEL Expedius + est une station humide avec des fonctionnalités avancées qui optimisent le traitement des appareils dans le processus d'assemblage des semi-conducteurs. Avec une large gamme de températures de fonctionnement, un atout d'échappement automatisé et un algorithme de processus avancé, cette station humide fournit un contrôle fiable du traitement des appareils.
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