Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9351446 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius est une station de traitement humide, conçue pour la fabrication de semi-conducteurs et des applications industrielles. Cette station de traitement humide est idéale pour produire des résultats de lithographie de haute qualité, y compris l'exposition aux ultraviolets (UV), les dépôts chimiques, la gravure humide et d'autres procédés à base de liquide. Cette station dispose d'un équipement entièrement automatisé avec des contrôles intégrés, une détection de défaut autodiagnostique, un système d'approvisionnement chimique en une étape et d'autres technologies automatisées de pointe. TEL Expedius se compose d'une chambre de traitement à base d'eau avec traitement rapide du liquide d'intervention, d'une unité de livraison de la tête de douche pour le processus de la chambre et d'une machine de nettoyage automatique sophistiquée. Cet outil d'exploitation permet à la station de réaliser une grande variété de processus, permettant des cadences de production plus rapides et des pièces de meilleure qualité. Les commandes intégrées hébergées dans TOKYO ELECTRON Expedius disposent d'un protocole informatique avancé qui assure le fonctionnement intuitif et la gestion de tous les processus au sein de la station. Ce programme guide l'opérateur à chaque étape, de la mise en place à l'exploitation. Il comprend l'accès à l'automatisation avancée, ainsi que les valeurs prédéfinies pour chaque étape, ce qui signifie que les paramètres peuvent être stockés dans l'actif et ajustés rapidement si nécessaire à des fins spécifiques. Cette station humide offre des performances élevées avec un coût relativement faible. Son contrôle supérieur de la température le rend adapté à une variété de substrats, et sa grande vitesse permet à la station de réaliser de longs processus en un temps plus court. Cette station est équipée d'un chargeur à cassette de chargement supérieur et d'un injecteur chimique à la source avec un mécanisme de dispersion breveté. Le chargeur de cassettes peut contenir jusqu'à huit cassettes actives et assure un chargement et un déchargement rapides tandis que l'injecteur chimique à la source peut contrôler avec précision la quantité de produit chimique nécessaire pour chaque substrat. Expedius est adapté à une variété de technologies, y compris la photolithographie, la gravure humide, la CMP et la micro-fabrication. Il offre également un cycle de bande photorésist optionnel avec détection et élimination intégrées de photorésist et d'autres étapes de post-traitement, permettant des temps de cycle plus rapides et une production de volume plus élevée. La station dispose également d'un modèle de détection de bulles pour identifier et éjecter les bulles de l'alimentation en liquide, assurant un résultat cohérent et de haute qualité. Cette station humide est conçue pour la cohérence, la précision et la répétabilité des processus. TEL/TOKYO ELECTRON Expedius convient à de nombreuses industries, de l'électronique grand public aux appareils médicaux et composants aérospatiaux. Son cadre robuste, ses fonctionnalités avancées et ses technologies automatisées en font un outil fiable pour maintenir un processus de production efficace et un contrôle de la qualité.