Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9353489 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Expedius
ID: 9353489
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Wet bench, 12" Process: MRCA Pre-clean Load port Transfer module SD2 SC1 (M/S) DHF Power box O3 Generator Fire extinguisher (3) MIKRO Sonic (2) U02800PMCA U02400PMAM Light tower Fire extinguisher light Alarm rotating light Yellow alarm light Exhaust / Drain box (2) Exhaust assy (4) Clear plastic cover (Middle) (8) Plastic cover (Top) Water pipe assy Robot track assy (2) Auto L type Foot stool assy KOMATSU GRS-612 KOMATSU AIC-7-12-T1 (2) Air driven pump controllers (6) Step frames (5) White covers Top frame HORIBA Assy Load / Unload module: Transfer module: Tank SD2 (Dryer): Guide material: PCTFE Process bath material: PTFE Cold DIW: 40-60 l/min POU (M/S): Guide material: QUARTZ Process bath material: QUARTZ Temperature: 70°C Proportion: HCL:H2O, 1:500 / 1:1000 Megasonic: SSDM 2800 W Cold DIW: 40-60 L/Min Hot DIW: 40-60 L / Min Heater CEH-480 Concentration monitor SC1 (M/S): Guide material: QUARTZ Process bath material: PTFE Temperature: 55°C Mixing ratio: NH3OH:H2O2:H2O, 2:3:100 Megasonic: SSDM 2800 W FF-20BT1 Pump AIH-124QS CS Heater with WJ Filter: QCCZATM01K, 0.05 µm HORIBA CS-131-0510 Concentration monitor QDR: Process bath material: QUARTZ Cold CIW: 40-60 l/min DHF: Guide material: PCTFE Process bath material: PTFE Cold CIW: 40-60 l/min Mixing ratio: DHF:H2O, 1:25 FF-20BT1 Pump COOLNICS Heater Filter: IHIG01M01K, 0.2 µm CM-210-05 Concentration monitor 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Expedius est une station de traitement humide conçue pour répondre aux exigences des applications de traitement chimique par voie humide. C'est un équipement hautement automatisé qui combine un mécanisme avancé de transfert de plaquettes avec un système de module personnalisable. TEL Expedius est adapté à une large gamme de modules de processus, d'une unité classique d'immersion par lots à une machine monobloc, permettant aux clients d'optimiser au mieux leur processus. L'une des caractéristiques les plus innovantes de TOKYO ELECTRON Expedius est son module avancé de transfert de plaquettes. Cet atout est conçu pour transférer rapidement et efficacement les plaquettes entre plusieurs chambres, permettant le traitement des plaquettes dans un délai beaucoup plus court. Ce module offre également une plus grande précision et un meilleur contrôle lors de la manipulation des plaquettes. De plus, le modèle Expedius utilise également un bras robotisé pour positionner avec précision les plaquettes, minimisant ainsi les risques de dommages mécaniques. L'équipement modulaire de TEL/TOKYO ELECTRON Expedius permet de personnaliser le système pour répondre au mieux aux besoins de chaque client. Les modules utilisables dans une unité TEL Expedius comprennent un module de trempe pour plaquettes de trempage, un module d'immersion de tensioactif pour le traitement de surface, un module de gravure humide pour la gravure et un module de revêtement photorésist. TOKYO ELECTRON Expedius comprend également un logiciel intégré qui permet aux utilisateurs de maximiser leur efficacité de processus en personnalisant la programmation du bras robotique. Le logiciel peut également être utilisé pour générer des rapports détaillés sur les résultats du processus et fournir un suivi en temps réel du processus. L'appareil dispose également d'une variété de caractéristiques de sécurité qui en font l'un des systèmes de processus humide les plus sûrs et fiables. Il est équipé d'un bouclier de radioprotection, d'un rideau de gaz à haut rendement et d'un outil intégré qui arrête la machine en cas de violation d'un paramètre de sécurité. Expedius actif est très efficace et fournit un environnement fiable et sûr pour le traitement par voie humide. C'est l'un des systèmes les plus avancés et personnalisables disponibles qui est en mesure d'optimiser le processus chimique de nettoyage humide et de produire les résultats souhaités.
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