Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9353489 à vendre en France
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ID: 9353489
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Wet bench, 12"
Process: MRCA Pre-clean
Load port
Transfer module
SD2
SC1 (M/S)
DHF
Power box
O3 Generator
Fire extinguisher
(3) MIKRO Sonic
(2) U02800PMCA
U02400PMAM
Light tower
Fire extinguisher light
Alarm rotating light
Yellow alarm light
Exhaust / Drain box
(2) Exhaust assy
(4) Clear plastic cover (Middle)
(8) Plastic cover (Top)
Water pipe assy
Robot track assy
(2) Auto L type
Foot stool assy
KOMATSU GRS-612
KOMATSU AIC-7-12-T1
(2) Air driven pump controllers
(6) Step frames
(5) White covers
Top frame
HORIBA Assy
Load / Unload module:
Transfer module:
Tank SD2 (Dryer):
Guide material: PCTFE
Process bath material: PTFE
Cold DIW: 40-60 l/min
POU (M/S):
Guide material: QUARTZ
Process bath material: QUARTZ
Temperature: 70°C
Proportion: HCL:H2O, 1:500 / 1:1000
Megasonic: SSDM 2800 W
Cold DIW: 40-60 L/Min
Hot DIW: 40-60 L / Min
Heater
CEH-480 Concentration monitor
SC1 (M/S):
Guide material: QUARTZ
Process bath material: PTFE
Temperature: 55°C
Mixing ratio: NH3OH:H2O2:H2O, 2:3:100
Megasonic: SSDM 2800 W
FF-20BT1 Pump
AIH-124QS CS Heater with WJ
Filter: QCCZATM01K, 0.05 µm
HORIBA CS-131-0510 Concentration monitor
QDR:
Process bath material: QUARTZ
Cold CIW: 40-60 l/min
DHF:
Guide material: PCTFE
Process bath material: PTFE
Cold CIW: 40-60 l/min
Mixing ratio: DHF:H2O, 1:25
FF-20BT1 Pump
COOLNICS Heater
Filter: IHIG01M01K, 0.2 µm
CM-210-05 Concentration monitor
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Expedius est une station de traitement humide conçue pour répondre aux exigences des applications de traitement chimique par voie humide. C'est un équipement hautement automatisé qui combine un mécanisme avancé de transfert de plaquettes avec un système de module personnalisable. TEL Expedius est adapté à une large gamme de modules de processus, d'une unité classique d'immersion par lots à une machine monobloc, permettant aux clients d'optimiser au mieux leur processus. L'une des caractéristiques les plus innovantes de TOKYO ELECTRON Expedius est son module avancé de transfert de plaquettes. Cet atout est conçu pour transférer rapidement et efficacement les plaquettes entre plusieurs chambres, permettant le traitement des plaquettes dans un délai beaucoup plus court. Ce module offre également une plus grande précision et un meilleur contrôle lors de la manipulation des plaquettes. De plus, le modèle Expedius utilise également un bras robotisé pour positionner avec précision les plaquettes, minimisant ainsi les risques de dommages mécaniques. L'équipement modulaire de TEL/TOKYO ELECTRON Expedius permet de personnaliser le système pour répondre au mieux aux besoins de chaque client. Les modules utilisables dans une unité TEL Expedius comprennent un module de trempe pour plaquettes de trempage, un module d'immersion de tensioactif pour le traitement de surface, un module de gravure humide pour la gravure et un module de revêtement photorésist. TOKYO ELECTRON Expedius comprend également un logiciel intégré qui permet aux utilisateurs de maximiser leur efficacité de processus en personnalisant la programmation du bras robotique. Le logiciel peut également être utilisé pour générer des rapports détaillés sur les résultats du processus et fournir un suivi en temps réel du processus. L'appareil dispose également d'une variété de caractéristiques de sécurité qui en font l'un des systèmes de processus humide les plus sûrs et fiables. Il est équipé d'un bouclier de radioprotection, d'un rideau de gaz à haut rendement et d'un outil intégré qui arrête la machine en cas de violation d'un paramètre de sécurité. Expedius actif est très efficace et fournit un environnement fiable et sûr pour le traitement par voie humide. C'est l'un des systèmes les plus avancés et personnalisables disponibles qui est en mesure d'optimiser le processus chimique de nettoyage humide et de produire les résultats souhaités.
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