Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9353490 à vendre en France
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ID: 9353490
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Wet bench, 12"
Process: MRCA Pre-clean
Load port
SC1 (M/S)
DHF
Power box
O3 Generator
Fire extinguisher
(3) MIKRO Sonic
(2) U02800PMCA
U02400PMAM
Light tower
Fire extinguisher light
Alarm rotating light
Yellow alarm light
Exhaust / Drain box
(2) Exhaust assy
(4) Clear plastic cover (Middle)
(8) Plastic cover (Top)
Water pipe assy
Robot track assy
(2) Auto L type
Foot stool assy
KOMATSU GRS-612
KOMATSU AIC-7-12-T1
(2) Air driven pump controllers
(6) Step frames
(5) White covers
Top frame
HORIBA Assy
Load / Unload module:
Transfer module:
Tank SD2 (Dryer):
Guide material: PCTFE
Process bath material: PTFE
Cold DIW: 40-60 L / Min
POU (M/S):
Guide material: QUARTZ
Process bath material: QUARTZ
Temperature: 70°C
Proportion: HCL:H2O, 1:500 / 1:1000
Megasonic: SSDM 2800 W
Cold DIW: 40-60 L / Min
Hot DIW: 40-60 L / Min
Heater
CEH-480 Concentration monitor
SC1 (M/S):
Guide material: Quartz
Process bath material: PTFE
Temperature: 55°C
Mixing ratio: NH3OH:H2O2:H2O, 2:3:100
Mega sonic: SSDM 2800W
FF-20BT1 Pump
AIH-124QS CS Heater with WJ
Filter: QCCZATM01K, 0.05 µm
HORIBA CS-131-0510 Concentration monitor
QDR:
Process bath material: QUARTZ
Cold CIW: 40-60 L / Min
DHF:
Guide material: PCTFE
Process bath material: PTFE
Cold CIW: 40-60 L / Min
Mixing ratio: DHF:H2O, 1:25
FF-20BT1 Pump
COOLNICS Heater
Filter: IHIG01M01K, 0.2 µm
CM-210-05 Concentration monitor
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Expedius est une station de traitement humide spécialement conçue pour les industries des semi-conducteurs. La station est équipée d'une variété de fonctionnalités pour assurer des capacités de traitement par voie humide optimales, sûres et efficaces. L'une des caractéristiques de la station est ses multiples capacités de module de processus. Il peut accueillir jusqu'à trois modules de traitement en une seule station, ce qui permet d'effectuer plusieurs opérations de traitement par voie humide en parallèle. Chaque module de travail dispose de sa propre tête de pompe indépendante, qui peut fournir un contrôle indépendant sur chaque processus. De plus, la station a intégré des dispositifs de sécurité pour prévenir les explosions accidentelles et la surpression de la chambre. La station contient également un puisard en acier inoxydable à base de solvant et des sorties d'échappement pour filtrer les liquides pendant le traitement. La station dispose d'un contrôleur de température et d'humidité pour assurer un contrôle précis de la température et de l'humidité pendant l'opération de traitement humide. Cela garantit que les conditions de traitement sont au niveau optimal pour la réalisation de procédés tels que le nettoyage humide, la gravure et le revêtement. De plus, la station est équipée d'un équipement de contrôle automatique avancé. Cela inclut des fonctionnalités telles que des recettes de processus programmables, un système d'alarme programmable et des capacités d'enregistrement de données. La station est également compatible avec différents systèmes de distribution, y compris les bras de distribution, les micropipettes et les systèmes robotiques. Cela permet une distribution précise et précise des produits chimiques, ce qui est essentiel pour garantir des résultats reproductibles et cohérents. La station offre également un affichage intuitif et convivial. Cet affichage fournit des informations en temps réel sur l'état de la plaquette à tout moment, y compris ses variables actuelles de température, de pression et de processus. De plus, la station peut être exploitée à distance, y compris via des connexions Ethernet ou Wi-Fi, ce qui la rend idéale pour les applications in situ ou à distance. Dans l'ensemble, TEL Expedius station humide est une solution idéale pour les opérations de traitement humide. Avec ses multiples capacités de module de traitement, de contrôle de la température et de l'humidité, d'unité de contrôle automatique et de compatibilité de la machine de distribution, cette station de traitement humide est à la fois efficace et fiable. Que ce soit in situ ou à distance, TOKYO ELECTRON Expedius est une excellente solution pour répondre aux besoins de traitement par voie humide.
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