Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9353546 à vendre en France
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ID: 9353546
Taille de la plaquette: 12"
Wet bench, 12"
Process: APMA Rec-Clean
Load / Unload module:
Transfer module:
Tank SD2 (Dryer):
Guide material: PVDF
Process bath material: PTFE
Cold DIW: 40-60 l/min
POU:
Guide material: QUARTZ
Process bath material: QUARTZ
Temperature: 70°C
Mixing Ratio: HCL:H2O 1:240/1:500
Cold DIW: 40-60 l/min
Hot DIW: 40-60 l/min
Heater
CEH-480 Concentration monitor
SC1 (M/S):
Guide material: QUARTZ
Process bath material: PTFE
Temperature: 65°C
Mixing ratio: NH3OH:H2O2:H2O 1:4:130/1:1:125
Megasonic: SSDM 2800 W
Heater
YY5611203J Filter
HORIBA CS-131-0510 Concentration monitor
(2) QDR:
Guide material: PCTFE
Process bath material: QUARTZ
Cold CIW: 40-60 l/min
HF/EG:
Guide material: PCTFE
Process bath material: PTFE
Temperature: 65°C
Mixing Ratio: HF/EG
1:10: 65°C
1:50: 60°C
Cold DIW: 4
NSPH-55KML Pump
Chemical heater
QCCATX01 Filter, 0.1 µm
HORIBA CS-158-F1 Concentration monitor
BSG:
Guide material: PCTFE
Process bath material: PTFE
Temperature: 60°C
Mixing ratio: HF:H2SO4 1:5/1:30
NSPH-55KML Pump
Chemical heater
QCCATX01 Filter, 0.1 µm
HORIBA CS-133V Concentration monitor
2004-2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Expedius est une station humide qui offre une plate-forme efficace et fiable pour l'intégration de la fabrication des plaquettes, de la lithographie et d'autres procédés. La plate-forme offre la stabilité de la température, le contrôle du processus, et des rendements améliorés. Il s'agit d'une plate-forme multi-utilisateurs équipée des dernières technologies de procédé humide et laser. Il offre une gamme complète de fonctionnalités et d'innovations, y compris le chargement automatisé de pochoirs, un équipement d'abris amont, et un système d'évacuation d'air amélioré. TEL Expedius Wet Station est conçu pour fournir une plate-forme stable au niveau de la machine pour l'intégration des processus et l'optimisation des performances. Sa conception d'architecture ouverte utilise une unité de mouvement 8 axes et une machine d'asservissement pour assurer un contrôle précis et stable du mouvement. Ses modèles d'entraînement propriétaires et ses algorithmes de répétition sont conçus pour que la station puisse atteindre un état stable rapidement et en douceur, tout en minimisant les turbulences. Il offre également un outil avancé de contrôle de la température qui assure une température uniforme et constante sur la plate-forme humide pendant le traitement. TOKYO ELECTRON Expedius Wet Station est équipé de multiples mécanismes de chargement/déchargement qui permettent une intégration rapide et facile avec divers outils de processus. Son atout pneumatique spécialement conçu et sa fonction de chargement automatique au pochoir garantissent une configuration rapide et facile. Il offre également un modèle avancé de marquage laser qui fournit une excellente résolution et précision avec des forces de collage minimes. L'équipement automatisé de protection uprig facilite les processus tels que le revêtement de spin, la gravure et la cuisson avec une intervention minimale de l'utilisateur. De plus, Expedius Wet Station est conçu pour maximiser les rendements des procédés et réduire les coûts en fournissant une approche intégrée de la fabrication des plaquettes, de la lithographie et d'autres procédés. La capacité de déclaration robuste de la station permet une analyse complète de la performance des processus. Son système avancé de contrôle des processus garantit des résultats stables et reproductibles. De plus, son unité avancée d'évacuation de l'air permet de réduire la contamination des particules en suspension dans l'air. En conclusion, TEL/TOKYO ELECTRON Expedius Wet Station est une plate-forme complète et multi-utilisateurs qui fournit une plate-forme stable et fiable pour l'intégration des processus et l'optimisation des performances. Les fonctionnalités avancées et les innovations de la station garantissent d'excellents rendements avec une intervention minimale de l'utilisateur. Sa machine avancée de contrôle des processus assure des résultats reproductibles et fiables tandis que son outil d'évacuation d'air permet de réduire la contamination par les particules. Dans l'ensemble, la station offre une plate-forme fiable et efficace qui maximise les rendements des processus et minimise les coûts.
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