Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9353549 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius est une station humide conçue pour les dispositifs semi-conducteurs à couches minces. La station est composée d'une base d'outils, d'un étage de plaquettes, d'un poste de rinçage, de modules de transfert, de modules de processus et d'un bras robot. La base d'outils est une plate-forme de positionnement construite pour traiter plusieurs substrats simultanément, permettant un transfert et un placement pratiques et précis des modules de processus humide et des modules de rinçage. La base est composée d'un corps fixe, de rouleaux et de plates-formes X-Y pour l'alignement des modules de processus. L'étage de plaquettes est une plaque métallique spécialisée construite pour contenir une seule plaquette, avec un simple ruban double face fixé au fond de la station. Cette plaque est facilement positionnée sur la base d'outils pour un accès facile aux modules de processus de la base d'outils. La station de rinçage est une station combinée de stérilisation et de séchage conçue pour nettoyer et sécher rapidement et efficacement les dispositifs semi-conducteurs. La station utilise une combinaison d'eau désionisée, de solutions système avancées et d'air chaud semi-sec pour le nettoyage. Les modules de transfert comprennent le système de palettes (PS) et la chambre de transfert de précision des processus (PPTC). Le PS permet le transfert exact de plaquettes vers la station de transfert, où le PPTC peut précisément contrôler les coordonnées XYZ de la plaquette pour minimiser les variations de position de la tâche de traitement. Les modules de procédé sont faits d'une combinaison de la tête d'exposition aux UV, de l'outil de pulvérisation d'or ou de chrome, de l'outil d'évaporation et d'une chambre de procédé humide pour créer des structures ultra fines sur les surfaces semi-conductrices. Tous ces modules sont reliés à la base d'outil et à l'étage de plaquette, ce qui permet un traitement facile et précis de la plaquette. Enfin, le bras robot est un bras robot à trois axes conçu pour tourner, déplacer et régler des plaquettes avec précision et rapidité sur les modules de processus de la station. Le bras peut également transporter des plaquettes d'un substrat à l'autre pour faciliter l'alignement et la mise en place. TEL Expedius est conçu pour fournir un traitement précis et efficace des dispositifs semi-conducteurs à base de couches minces. La station peut traiter plusieurs plaquettes à la fois, ce qui permet des résultats à haut débit. De plus, sa station de rinçage spécialisée, ses modules de transfert ainsi que ses modules de processus et son bras robot fournissent des résultats de traitement précis et optimisés.