Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9353550 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius est une station humide, un type d'équipement de fabrication de dispositifs semi-conducteurs utilisé dans le traitement des semi-conducteurs. Il est capable de traiter de multiples processus, tels que les dépôts chimiques en phase vapeur (CVD), les dépôts électrochimiques (ECD), les dépôts physiques en phase vapeur (PVD), etc. Il est principalement utilisé pour la réalisation de puces à circuit intégré (IC). La station humide est conçue pour répondre aux exigences des technologies avancées de semi-conducteurs et dispose d'une gamme d'options pour répondre aux différents besoins du processus de production. Le système central de la station humide est composé d'un processeur, d'un contrôleur et d'une interface homme-machine (HMI) qui permettent à l'opérateur de contrôler manuellement les étapes du processus. Le processeur et le contrôleur sont chargés de contrôler les différents paramètres qui régissent le processus et d'ajuster les différents paramètres au cours du processus. Cela inclut l'établissement des valeurs de température et de pression correctes pour assurer l'uniformité du processus sur l'ensemble de la plaquette. L'IHM permet à l'opérateur de configurer l'environnement du processus et d'exécuter les processus requis. En plus du processeur et du contrôleur, la station humide dispose de divers systèmes de nettoyage pour éliminer les contaminants indésirables qui peuvent affecter la transformabilité et les performances des puces IC. Ces systèmes sont conçus dans un but spécifique et peuvent comprendre l'utilisation de gaz filtrés, de solvants spéciaux, d'aérosols et d'autres agents de nettoyage. Pour le contrôle des processus, TEL Expedius utilise divers équipements de métrologie. Il s'agit notamment d'outils d'inspection optique, d'un atomiseur de gaz et de divers types d'outils de mesure de profil. L'équipement de métrologie est utilisé pour mesurer les résultats du procédé, tels que les caractéristiques du motif et l'épaisseur des couches. Ces informations sont ensuite utilisées pour ajuster les paramètres du processus, si nécessaire, afin d'obtenir les résultats souhaités. TOKYO ELECTRON Expedius est livré avec un certain nombre de caractéristiques de sécurité, telles que la détection d'incendie, capteurs de température et de pression, et capteurs de débit d'air. Toutes ces mesures sont conçues pour offrir un environnement de travail sûr et sécuritaire à l'exploitant. Expedius est une station humide puissante et fiable. Il est capable de produire des puces IC de haute qualité avec un contrôle précis des processus. La gamme d'options de processus et d'équipements de métrologie permet à l'opérateur de produire une sortie uniforme et précise. Les caractéristiques de sécurité garantissent un environnement de travail sûr pour l'opérateur, tandis que le dispositif lui-même offre des performances robustes et fiables pour une production efficace de puces IC.