Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #9375199 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius + est une station humide conçue pour permettre le dépôt de couches minces sur une grande variété de substrats allant des dispositifs à échelle nanométrique et micrométrique. Cette station humide est adaptée à des applications telles que le dépôt en phase vapeur, le dépôt électrochimique, l'électrodéposition, le placage chimique, l'anodisation, etc. La composante principale de la station est la section de dépôt humide, qui se compose d'une chambre de traitement de grande taille et d'un module de traitement humide. La chambre de dépôt est équipée d'éléments chauffants, de capteurs, d'un orifice d'échappement et de deux cylindres circulaires en quartz. La chambre de procédé est capable de vide, de pression positive et de fonctionnement atmosphérique. Sa grande taille cylindrique permet de traiter différentes tailles et formes de substrat. Le module de traitement par voie humide, situé à côté de la chambre de dépôt, comprend un réacteur de grand diamètre, un système de refroidissement intégré et plusieurs ports d'entrée pour l'alimentation et les gaz résiduaires. La cuve réactionnelle est conçue pour recevoir une gamme de compositions de bain pour diverses techniques de dépôt. La température de la cuve réactionnelle peut être ajustée en fonction du procédé souhaité. Le système de refroidissement intégré est conçu pour empêcher les dépôts de s'accumuler à la surface de la plaquette. La chambre de dépôt et le module de traitement humide sont reliés par un champ électrostatique multicouche avec un écran électrostatique intégré. Ceci assure que l'environnement du procédé, la solution déposée et les substrats restent isolés et exempts de contamination pendant tout le processus de dépôt. Un panneau de commande dédié, situé à l'arrière de la station permet aux utilisateurs d'ajuster facilement des paramètres tels que la température, la pression et d'autres variables de processus. La station TEL Expedius + est capable de déposer des films extrêmement fins avec une qualité et une uniformité supérieures. Cela en fait un choix idéal pour des applications telles que la lithographie avancée et la nanotechnologie. De plus, sa conception spécialisée et sa capacité à surveiller et contrôler automatiquement les réactions lui permettent de faire la queue dans plusieurs emplois avec un minimum d'implication. Il s'agit d'une solution rentable pour de nombreux besoins de dépôt.