Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UW-200Z #9278993 à vendre en France
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ID: 9278993
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2005
Batch wafer processor, 8"
Dry-in / Dry-out
Install type: Thru-The-Wall (TTW)
Automated load / Unload
Bath:
1: Citric
2: POU (Point Of Use, configurable)
3: SD2 (HF / IPA Dry)
Typical process flow: Citric -> POU (QDR) ->SD2
Includes:
Fire suppression system
UPS For computer only (installed on tool)
UPS For full system (stand-alone unit)
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-200Z est une station humide qui est populaire parmi les fabricants de semi-conducteurs, en raison de son haut degré d'automatisation. En tant que station humide, elle est conçue pour être utilisée pour le procédé de gravure chimique, qui est un procédé utilisé pour éliminer le matériau d'une plaquette semi-conductrice. TEL UW200Z est une station humide à grande échelle conçue pour accueillir plusieurs plaquettes en un seul processus. Sa conception unique dispose d'un ordinateur central fixe sur une plate-forme mobile, permettant à la station humide de se déplacer rapidement entre les stations pour traiter plusieurs plaquettes à la fois. Cela permet un degré plus élevé d'automatisation, réduisant la quantité d'intervention manuelle nécessaire pour le processus de gravure chimique. TOKYO ELECTRON UW 200 Z dispose d'une interface basée sur une application qui peut être configurée pour un déplacement automatisé entre les stations. L'application peut également être chargée de recettes qui peuvent être utilisées pour déterminer les paramètres de processus exacts nécessaires pour la procédure de gravure chimique. La station peut être exploitée par un seul utilisateur, et peut fournir jusqu'à quatre cuves de traitement à la fois. La station humide dispose de la technologie de sécurité la plus récente, y compris un équipement d'alarme, des verrous rotatifs, et un système de rassemblement. L'unité de rassemblement permet aux utilisateurs d'obtenir une notification sonore lorsque la station est sur le point d'atteindre son point final. En outre, la station dispose d'une machine de ventilation, afin d'éviter la dissipation des vapeurs chimiques. UW 200 Z est une station humide fiable avec une vitesse de traitement impressionnante. Il peut traiter jusqu'à quatre plaquettes au sein d'un même lot, et peut être réglé pour répéter des lots en continu pour une production continue. La station est alimentée par une source d'énergie AC100V to 220V, et conçue pour être utilisée dans un environnement de salle blanche. Dans l'ensemble, TEL UW 200 Z est une station humide fiable qui est parfaite pour la gravure chimique automatisée de plusieurs plaquettes. Ses fonctionnalités avancées, y compris le mouvement automatisé, l'interface contrôlée par application et les caractéristiques de sécurité, en font un excellent choix pour la fabrication de produits semi-conducteurs.
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