Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UW-200Z #9278994 à vendre en France
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ID: 9278994
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
Batch wafer processor, 8"
Dry-in / Dry-out
Install type: Thru-the-wall (TTW)
Automated load/Unload
Application: Pre-diffusion clean
Bath:
1: POU (Point of Use, configurable)
2: SC1
3: SD2 (HF / IPA Dry)
Typical process flow: POU (HF )-> QDR -> SC1 -> QDR -> SD2
Includes:
Cabinex CO2 fire suppression system
LUFRAN 130-6HH6 DIW Heater
UPS For computer only (installed on tool)
UPS For full system (stand-alone unit)
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-200Z Wet Station est un équipement de traitement chimique humide haut de gamme conçu pour la fabrication automatisée de dispositifs de circuits intégrés. Avec sa construction de qualité industrielle, TEL UW200Z est construit pour une précision optimale et une fiabilité constante. TOKYO ELECTRON UW 200 Z dispose de deux cuves de traitement pour un matériel d'alimentation (MSS) et de deux tailles de cuve standard avec une température maximale de 370 ° C Les deux cuves de processus ont des fonctions de contrôle automatisé des processus pour le fonctionnement et la surveillance automatiques des processus. Le système de refroidissement de la station est composé de deux plaques de refroidissement qui peuvent être commandées séparément pour deux exigences de température différentes. Chaque réservoir est équipé d'une trémie d'outils permettant l'insertion de substrats et d'outils de nettoyage. Les réservoirs de traitement MSS utilisent une série de pompes et une unité de drainage et de remplissage pour remplir et drainer les réservoirs, en utilisant de l'eau DI ou DI&DI. Les deux réservoirs disposent également d'une machine de nettoyage des plaques à bulles pour remplacer le dégazage, minimiser le barbotage et améliorer le nettoyage des substrats. TOKYO ELECTRON UW200Z fournit une variété de modules de processus pour soutenir la fabrication automatisée de dispositifs de circuits intégrés. Ces modules comprennent une extrudeuse à bande épaisse, une extrudeuse de laminage et d'isolement poreux (PI) et une application inhibitrice d'ébullition (BIA). L'extrudeuse à bandes épaisses est utilisée pour produire des bandes de résistance à couches épaisses avec une épaisseur uniforme et une excellente tolérance à l'humidité. L'extrudeuse poreuse de laminage et d'isolement (PI) assure un positionnement précis et un contact conforme correct avec le substrat requis pour un laminage uniforme sans vide et une isolation électrique. Le BIA est intégré au module PI et fournit une liaison eutectique lisse. De plus, la station comprend un outil de transport des substrats pour le transport des substrats à travers les trois cuves de traitement. La station dispose également d'un atout de gestion des substrats intelligents (SSMS) pour identifier les substrats et les transporter de manière optimale entre les trois cuves de processus. TEL UW 200 Z Wet Station est un choix idéal pour ceux qui recherchent la précision et la fiabilité haut de gamme dans le traitement chimique humide. Avec sa gamme complète de modules et de processus automatisés, TEL UW-200Z offre une polyvalence inégalée, offrant une vitesse et une précision inégalées pour la fabrication de dispositifs de circuits intégrés.
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