Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UW-300 #9098651 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON UW-300
ID: 9098651
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Wet bench, 12" 2006 vintage.
La station humide TEL/TOKYO ELECTRON UW-300 est un équipement fiable et économique conçu pour le traitement humide des semi-conducteurs. TEL UW-300 est capable de traiter avec précision et rapidité les petits substrats jusqu'à 150 mm sur ses cassettes de 150 mm. Le système offre une excellente répétabilité des processus et des rendements grâce à la combinaison de son débit élevé, de son contrôle précis de la température et du mouvement, ainsi que de ses fonctionnalités optimisées pour la gestion des petits substrats. TOKYO ELECTRON UW-300 dispose d'une grande capacité de chambre avec une unité de recyclage à haut rendement pour une utilisation chimique. Ceci est particulièrement utile pour les procédés humides qui nécessitent des températures extrêmes ou des bains chimiques uniques. Avec une architecture modulaire, la machine peut être adaptée pour supporter une variété de processus humides, tels que la gravure de précision, le nettoyage humide, le dépôt chimique et l'électrodéposition. L'outil intègre une unité de manutention des cassettes pour automatiser le chargement et le déchargement des cassettes. Cette capacité permet de rationaliser l'ensemble du processus, de réduire la contamination et d'améliorer le rendement. De plus, un actif de contrôle central du fluide permet un contrôle précis de la température et du débit. Cela est essentiel pour obtenir des résultats stables. UW-300 est capable d'un contrôle précis des processus. Il fournit un contrôle précis de la température à l'aide d'éléments chauffants et d'un capteur de température Far Infrared (Femto-IR). Il intègre également un modèle de contrôle précis des sources de gaz déionisées (SDI) pour gérer un débit précis de gaz. L'équipement offre également un contrôle précis du moment, ainsi qu'un contrôle précis du mouvement pour une livraison précise des ingrédients. TEL/TOKYO ELECTRON UW-300 dispose d'un système de moniteur automatisé unique pour mesurer les paramètres de la chambre, la température ambiante et du substrat, ainsi que des informations sur les horodateurs pour produire des journaux de processus et des recettes facilement disponibles pour l'examen, les essais et l'optimisation des processus. L'unité comprend également une machine d'enregistrement de données embarquée pour recueillir les paramètres opérationnels pendant le traitement afin d'améliorer le contrôle des processus et de réduire le temps de dépannage. Cet outil permet de maximiser les rendements et la productivité. Dans l'ensemble, TEL UW-300 station humide offre un traitement humide constant et reproductible pour les petits substrats jusqu'à 150 mm de taille. Son débit élevé, son contrôle précis de la température et du mouvement et ses excellentes caractéristiques de gestion des petits substrats permettent d'obtenir des rendements fiables et un débit de procédé optimisé. TOKYO ELECTRON UW-300 est un atout fiable et économique conçu pour aider à optimiser le traitement par voie humide.
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