Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UW-300 #9098652 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON UW-300 est une station humide pour le développement de procédés et la fabrication de dispositifs dans l'industrie des semi-conducteurs. Cette station humide est conçue pour être utilisée dans des procédés à basse pression tels que l'isolation des tranchées peu profondes (STI) et la gravure des tranchées peu profondes (STE). Il est également capable de produire des structures complexes utilisées dans des technologies telles que le 3DIC et le MEMS. TEL UW-300 dispose d'un équipement unique, à haute température et à basse pression, en quartz et en acier inoxydable construit sur un cadre rigide qui permet de minimiser les variations de température dans toute la chambre et d'assurer l'uniformité. Son système plasma avancé est conçu pour produire un environnement de traitement à basse pression très efficace, ce qui le rend idéal pour les processus de gravure. TOKYO ELECTRON UW-300 dispose également d'un certain nombre de fonctions de contrôle et de sécurité des procédés. Ceux-ci comprennent un contrôleur automatique de processus, qui surveille et régule la température, la pression et d'autres paramètres de processus, et un dispositif breveté de suppression de décharge électrique, qui aide à maintenir l'intégrité et la sécurité du processus. UW-300 a un certain nombre de caractéristiques qui en font un choix polyvalent pour les applications de processus. Il peut accueillir jusqu'à quatre chambres de traitement, chacune avec une unité de distribution de gaz de la chambre de traitement différente et un collecteur de gaz intégré et des pompes à vide, lui permettant de traiter une variété de gaz de traitement à la fois. Son contrôleur programmable est capable de gérer jusqu'à huit différentes recettes et paramètres de plaquettes, permettant une configuration rapide et facile des processus et des conditions de processus complexes. De plus, TEL/TOKYO ELECTRON UW-300 est conçu avec une interface utilisateur intuitive, ce qui permet aux utilisateurs d'examiner les informations actuelles sur les processus et de procéder aux ajustements nécessaires. Cette station humide est également conçue pour être facile à entretenir et à nettoyer. Il dispose d'un chargeur/déchargeur automatisé de plaquettes, ce qui réduit le besoin de charger et de décharger manuellement des plaquettes, et il a une machine de transfert de plaquettes intégrée robot, de sorte que le nettoyage des résidus de processus peut se produire rapidement et facilement. De plus, TEL UW-300 dispose d'une buse de pulvérisation résistante aux produits chimiques pour un nettoyage efficace de la chambre de traitement et du tube à quartz. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON UW-300 est une station humide de pointe conçue pour fournir des caractéristiques de processus et de sécurité uniformes pour le développement de processus et la fabrication de dispositifs. Sa polyvalence et sa commodité en font un excellent choix pour une utilisation dans l'industrie des semi-conducteurs.