Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #9314664 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Z est une station humide spécialement conçue pour les applications de traitement chimique humide telles que la photolithographie et le développement. TEL UW300Z est une unité robuste et fiable, facile à utiliser, offrant une excellente durée de vie pour les applications de traitement par voie humide les plus exigeantes. L'unité offre un haut degré de répétabilité et de fiabilité, et peut traiter jusqu'à 300 plaquettes en un seul lot. La station humide dispose d'une interface utilisateur intuitive et s'intègre étroitement avec d'autres équipements de traitement humide TEL. Au cœur de cette station humide se trouve un équipement de chargeur de palettes de plaquettes entièrement motorisé, permettant une grande flexibilité dans le transport des plaquettes. Le mécanisme de chargement est conçu pour accueillir une grande variété de tailles de plaquettes de 100mm à 300mm. Les plaquettes sont maintenues solidement en place pendant le transport pour assurer leur stabilité mécanique et réduire le risque de contamination des particules. TOKYO ELECTRON UW 300Z dispose également d'un robot de manutention de plaquettes, qui utilise un système de réglage entièrement réglable en trois points pour orienter précisément les plaquettes pour le traitement. TEL/TOKYO ELECTRON UW 300 Z est également équipé d'un certain nombre de dispositifs avancés de sécurité et de protection de l'environnement. Un couvercle d'air chauffé est prévu pour assurer que les températures de surface chaude pendant le fonctionnement restent dans les limites acceptées. L'unité dispose également d'un capteur de débit pour surveiller et contrôler l'alimentation de la station humide en produits chimiques. Cela garantit que la quantité précise de produits chimiques est spécifiquement adaptée aux exigences du procédé et réduit le risque de ruissellement ou de déversement de produits chimiques. Afin d'assurer des rendements élevés, TOKYO ELECTRON UW300Z dispose également d'un certain nombre de systèmes sophistiqués de détection et de prévention des défauts. L'unité comprend une unité intégrée de détection des particules pour détecter et identifier les dépôts présents sur les plaquettes traitées. L'unité peut également être configurée pour mesurer des paramètres clés de processus tels que la température et la pression pour détecter des anomalies de processus avant qu'elles ne causent des défauts ou de mauvais rendements. UW-300Z offre toutes les fonctionnalités nécessaires pour un traitement humide efficace. En combinant une machine de chargement motorisée et un robot de manutention des plaquettes avec des systèmes avancés de sécurité et de prévention des défauts, TEL UW-300Z fournit un contrôle et une répétabilité des procédés de pointe pour les applications les plus exigeantes de traitement chimique par voie humide.