Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000 #9292570 à vendre en France

ID: 9292570
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
Wet station, 8" Process: Post cleaner Chemical supply unit UPS Exhaust blower unit Hot DIW unit Organic scrubber Acid / Alkali scrubber IPA Recycle unit AC Power box Position / Name / Material / Temperature control / Measuring / Pump / Filter / Chemical supply / Drain exhaust POS11 / UL / PVC / Ionizer / - / - / - / - / Natural POS10 / ID / Quartz / SS HEAT / - / Dip / - / - / Organic POS09 / FR / Quartz / - / - / - / - / - / Natural POS08 / HQDR / Quartz / Qtz heat / 2" / - / - / - / Natural POS07 / HPM / Quartz / CS heat / 3 / Circulation / Filtering / CCSS / Acid POS06 / OF / Quartz / - / - / - / - / - / Natural POS05 / HQDR / Quartz / Qtz heat / 2 / - / - / - / Natural POS04 / APM / Quartz / CS heat / 1 / Circulation / Filtering / CCSS / Alkali POS03 / QDR / Quartz / - / - / - / - / - / Natural POS02 / CHCL / PVC / - / - / - / - / - / Natural POS01 / LD / PVC / Ionizer / - / - / - / - / Natural Measuring instrument: KURABO Resistivity meter / Temperature controller / APM Concentration meter Controller: TEL / TOKYO ELECTRONICS Board FF-20HT Pump MILLIPORE TAAD011G19E5H23D Filter THE-63Q CS Heat Fire extinguisher: Cabinex-EN Signal tower: 4 Color (GYWR) PATLITE LED Type Missing parts: IPA Vapor dryer Quartz bath (2) Robot chucks HPM Plate APM Plate Sonic generator Power supply: 200 V, 150 A, 3 Phase 100 V, 60 A, Single phase 100 V, 5 A, Single phase 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000 est une station humide intuitive et polyvalente idéale pour une variété de processus de nanofabrication. C'est un outil de lithographie à immersion contrôlée par ordinateur à haute résolution conçu pour créer des caractéristiques nanométriques avancées qui mesurent de 500nm à 200nm. Cet outil de précision utilise un faisceau intense de lumière pour « graver » un motif complexe sur une très petite plaquette ou un substrat, créant des produits microélectroniques avec une précision incroyable. TEL UW-8000 est équipé d'un étage de substrat réglable et de haute précision qui peut se déplacer dans les axes X, Y et Z, avec un moteur pas à pas fournissant à chaque axe une résolution de 2 microns. L'illuminateur intégré peut accueillir diverses sources lumineuses, et être ajusté pour produire des faisceaux avec des longueurs d'onde entre 400 et 800nm. En plus d'immerger la plaquette dans un matériau résistant, le TOKYO ELECTRON UW 8000 peut également être utilisé pour graver ou vaporiser des matériaux, ainsi que des substrats propres/polis. La plaquette est supportée mécaniquement pour minimiser les vibrations, et la station est entièrement automatisée, ce qui lui permet de réaliser une série de processus même sans surveillance. Il est conçu avec une empreinte compacte pour une intégration facile dans un laboratoire ou une salle blanche, et une petite unité légère pour une flexibilité d'application maximale. L'interface utilisateur intuitive de TOKYO ELECTRON UW-8000 est conçue pour un fonctionnement facile ; l'interface graphique permet à l'utilisateur de parcourir toutes les étapes du processus. Cela permet aux utilisateurs de formuler leurs propres recettes personnalisées et de mettre en place des modèles de gravure plus complexes. La station dispose également de deux systèmes de gestion de l'humidité conçus pour surveiller et contrôler l'humidité relative, en veillant à ce que les plaquettes restent sèches et exemptes de contamination. Enfin, UW 8000 est un outil très fiable disponible à un prix abordable, idéal pour ceux qui cherchent à produire des produits à l'échelle nanométrique sophistiqués d'une manière moderne et peu coûteuse. Avec sa capacité à augmenter les rendements à travers une variété de processus, UW-8000 est un investissement précieux pour tout laboratoire de nano fabrication.
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