Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000 #9292570 à vendre en France
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ID: 9292570
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
Wet station, 8"
Process: Post cleaner
Chemical supply unit
UPS
Exhaust blower unit
Hot DIW unit
Organic scrubber
Acid / Alkali scrubber
IPA Recycle unit
AC Power box
Position / Name / Material / Temperature control / Measuring / Pump / Filter / Chemical supply / Drain exhaust
POS11 / UL / PVC / Ionizer / - / - / - / - / Natural
POS10 / ID / Quartz / SS HEAT / - / Dip / - / - / Organic
POS09 / FR / Quartz / - / - / - / - / - / Natural
POS08 / HQDR / Quartz / Qtz heat / 2" / - / - / - / Natural
POS07 / HPM / Quartz / CS heat / 3 / Circulation / Filtering / CCSS / Acid
POS06 / OF / Quartz / - / - / - / - / - / Natural
POS05 / HQDR / Quartz / Qtz heat / 2 / - / - / - / Natural
POS04 / APM / Quartz / CS heat / 1 / Circulation / Filtering / CCSS / Alkali
POS03 / QDR / Quartz / - / - / - / - / - / Natural
POS02 / CHCL / PVC / - / - / - / - / - / Natural
POS01 / LD / PVC / Ionizer / - / - / - / - / Natural
Measuring instrument: KURABO Resistivity meter / Temperature controller / APM Concentration meter
Controller: TEL / TOKYO ELECTRONICS Board
FF-20HT Pump
MILLIPORE TAAD011G19E5H23D Filter
THE-63Q CS Heat
Fire extinguisher: Cabinex-EN
Signal tower: 4 Color (GYWR)
PATLITE LED Type
Missing parts:
IPA Vapor dryer Quartz bath
(2) Robot chucks
HPM Plate
APM Plate
Sonic generator
Power supply:
200 V, 150 A, 3 Phase
100 V, 60 A, Single phase
100 V, 5 A, Single phase
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000 est une station humide intuitive et polyvalente idéale pour une variété de processus de nanofabrication. C'est un outil de lithographie à immersion contrôlée par ordinateur à haute résolution conçu pour créer des caractéristiques nanométriques avancées qui mesurent de 500nm à 200nm. Cet outil de précision utilise un faisceau intense de lumière pour « graver » un motif complexe sur une très petite plaquette ou un substrat, créant des produits microélectroniques avec une précision incroyable. TEL UW-8000 est équipé d'un étage de substrat réglable et de haute précision qui peut se déplacer dans les axes X, Y et Z, avec un moteur pas à pas fournissant à chaque axe une résolution de 2 microns. L'illuminateur intégré peut accueillir diverses sources lumineuses, et être ajusté pour produire des faisceaux avec des longueurs d'onde entre 400 et 800nm. En plus d'immerger la plaquette dans un matériau résistant, le TOKYO ELECTRON UW 8000 peut également être utilisé pour graver ou vaporiser des matériaux, ainsi que des substrats propres/polis. La plaquette est supportée mécaniquement pour minimiser les vibrations, et la station est entièrement automatisée, ce qui lui permet de réaliser une série de processus même sans surveillance. Il est conçu avec une empreinte compacte pour une intégration facile dans un laboratoire ou une salle blanche, et une petite unité légère pour une flexibilité d'application maximale. L'interface utilisateur intuitive de TOKYO ELECTRON UW-8000 est conçue pour un fonctionnement facile ; l'interface graphique permet à l'utilisateur de parcourir toutes les étapes du processus. Cela permet aux utilisateurs de formuler leurs propres recettes personnalisées et de mettre en place des modèles de gravure plus complexes. La station dispose également de deux systèmes de gestion de l'humidité conçus pour surveiller et contrôler l'humidité relative, en veillant à ce que les plaquettes restent sèches et exemptes de contamination. Enfin, UW 8000 est un outil très fiable disponible à un prix abordable, idéal pour ceux qui cherchent à produire des produits à l'échelle nanométrique sophistiqués d'une manière moderne et peu coûteuse. Avec sa capacité à augmenter les rendements à travers une variété de processus, UW-8000 est un investissement précieux pour tout laboratoire de nano fabrication.
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