Occasion WAFER PROCESS SYSTEMS / WPS SLFFH-600-P #9003748 à vendre en France
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ID: 9003748
Wet Station
HBT Acid/Corrosive/Etch chemical
60HZ 208V
3 Phase 45 amps
5 Wires
Electrical Diagram # 0154356
Station # 2 HBT PNL 2M/32 34 36
All Controls are made by Wafer Process Systems
1) Switch Panel: WP5 Model 200 ASP Auxiliary
2) EPO: Model 100 Emergency Power off Panel
3) Process Timer: Model 1000T
4) Cycles: Model 20000 QDL Quick Dump Logic
Station # 2 HBT Sink D546
All Controls are made by Wafer Process Systems
1) Resistivity Monitor: Model 900RM
2) Temperature/Time Controller: Model 3000 TTC
3) Process Timer: Model 1000T
4) Cycles: Model 20000 QDL Quick Dump Logic
5) Local Exhaust Ventilation: 1027
Hercules Foot Switch: CAT # 531-SWN Nema Type 2, 4 & 13
Extra parts included.
WAFER PROCESS SYSTEMS/WPS SLFFH-600-P wet station est un équipement automatisé et entièrement intégré conçu pour le traitement de petites/grandes plaques plates dans divers environnements de production. Il dispose d'une série de plateaux rotatifs qui servent de convoyeur, permettant le chargement et le déchargement précis et reproductible des produits, et de deux modules de chauffage symétriques qui contribuent à assurer des températures uniformes. Ce système est conçu pour une variété de procédés et de matériaux, y compris des procédés chimiques multiples, des opérations d'amincissement, de gravure et de nettoyage, et il peut être équipé de systèmes optionnels de revêtement, de scribing laser et de robotique. WPS SLFFH-600-P peut accueillir des plaquettes jusqu'à une taille maximale de 600 mm de diamètre et jusqu'à 20 mm d'épaisseur, et l'unité peut traiter jusqu'à six plaquettes simultanément avec un débit de jusqu'à 500 plaquettes par heure. Les plaquettes sont chargées sur les plateaux rotatifs, et jusqu'à 6 procédés différents peuvent être appliqués sur les plaquettes en rotation. Tous les processus sont gérés par le contrôleur dédié de la machine, ce qui permet un contrôle précis et cohérent sur l'ensemble du processus de production. WAFER PROCESS SYSTEMS SLFFH-600-P dispose d'un puissant moteur pas à pas pour un contrôle précis de la vitesse, et son outil de pointe à double pompe est capable de contrôler la vitesse et le débit des solutions. Cette station humide offre également un mode de traitement continu, permettant de traiter jusqu'à 1 800 plaquettes avec un taux de chargement pouvant atteindre 10 plaquettes par minute. L'actif est également conçu avec un modèle de collecte et de recyclage des particules, qui permet une exploitation propre et respectueuse de l'environnement. SLFFH-600-P est très fiable et robuste grâce à sa structure renforcée et ses caractéristiques de sécurité avancées. L'équipement a fait l'objet de tests de sécurité approfondis pour assurer la sécurité du personnel, et il comporte des alarmes et des arrêts d'urgence. En outre, le système est protégé des chocs et des vibrations, et son unité de gestion de la température assure des conditions de travail optimales. WAFER PROCESS SYSTEMS/WPS SLFFH-600-P est une station humide fiable et efficace idéale pour le traitement de plaquettes fines/grandes plates pour une variété d'industries.
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