Occasion OXFORD Plasmalab 100 #293587250 à vendre en France

OXFORD Plasmalab 100
Fabricant
OXFORD
Modèle
Plasmalab 100
ID: 293587250
ICP Reactive Ion Etcher (RIE) LED Field PECVD.
OXFORD Plasmalab 100 est un graveur et asher conçu pour une large gamme d'applications de gravure. Cet équipement est conçu pour être fiable, robuste et polyvalent, et utilise un plasma couplé à courant continu, à basse pression et à pression plus élevée, à couplage inductif, pour graver des couches métalliques et diélectriques pour les appareils électroniques et les applications connexes. Le procédé de gravure et de cendrage utilise une bande de matériau cible, typiquement métallique ou diélectrique, comme substrat à graver, et une série d'impulsions contrôlées de précision pour graver le matériau en formes et motifs. Les principaux composants de Plasmalab 100 comprennent une source de plasma, une chambre, un contrôleur et un système de pompage sous vide. La source de plasma est une combinaison de courant continu couplé capacitivement basse pression et haute pression (CC-DC), permettant à l'unité de fournir un plasma stable et très uniforme. Cela fournit les résultats de gravure et de cueillette de la plus haute qualité. La chambre se compose d'une antichambre et d'une chambre de procédé, avec la chambre de procédé avec une bobine inductive adaptée pour permettre un timing précis de la pulsation pour la gravure/cueillette. Le contrôleur est chargé de contrôler les paramètres du plasma, ainsi que de surveiller et de contrôler les niveaux de pression. La machine de pompage à vide assure de faibles niveaux de pression dans la chambre, et peut être ajustée pour répondre aux exigences d'une application particulière. OXFORD Plasmalab 100 est un outil robuste et fiable, capable de travailler avec une variété de métaux et d'alliages, ainsi que des matériaux diélectriques haut de gamme. L'actif offre des taux de gravure réglables et répétables, permettant des résultats reproductibles précis et l'optimisation des processus. Le modèle est adapté à une large gamme d'applications de gravure, y compris l'emballage de puces empilées en 3D et la fabrication de MEMS, ainsi que la microélectronique, l'emballage de circuits intégrés (IC), la distribution de plaquettes et la fabrication optique. En outre, l'équipement est capable de manipuler des matériaux fragiles tels que polymère, quartz et couches minces. Plasmalab 100 est un graveur et asher fiable et robuste, capable de graver un large éventail de matériaux pour répondre aux exigences de nombreuses applications de gravure. Le système dispose de vitesses de gravure précises et répétables et de niveaux de pression réglables, permettant des résultats précis qui sont reproductibles. Cette unité est idéale pour une utilisation dans l'emballage IC, la fabrication MEMS et le gaufrage, ainsi que dans d'autres marchés et applications.
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