Occasion OXFORD Plasmalab 100 #293640840 à vendre en France

OXFORD Plasmalab 100 est un graveur/asher de pointe utilisé pour diverses applications de microfabrication. C'est un outil à chambre unique qui peut graver et déposer des photorésist positifs et négatifs. Plasmalab 100 est capable de gravure humide et sèche dans un large éventail d'applications et dispose d'un environnement de gravure très précis et stable. L'outil est basé sur une technique de gravure en flux massique, qui se caractérise par un fort taux d'enlèvement de matière mais un faible endommagement de profil. Il offre une gravure uniforme dans un large éventail de matériaux, y compris le silicium, le nitrure de gallium, le SiGe et les composés GaN. OXFORD Plasmalab 100 est équipé d'une technologie magnéto-hydrodynamique (MHD) sans collision, lui permettant de générer un environnement de gravure à la dérive quasi nulle et sans vibrations. Il en résulte une gravure uniforme et de haute qualité quel que soit l'environnement. En termes de variables de processus, Plasmalab 100 dispose d'un déclencheur de plasma réglable, injection de gaz et débit de rotation de gaz pour atteindre la recette de gravure souhaitée. De plus, il dispose d'un contrôleur de pression plasma programmable qui permet une gravure facilement adaptée. Grâce à son interface graphique conviviale, OXFORD Plasmalab 100 peut contrôler avec précision la pression de gravure, la polarisation DC, l'énergie ionique, les temps proportionnels et dérivés et le taux de gravure. Plasmalab 100 peut déposer des photorésist sur des surfaces de substrat avec une grande précision et répétabilité. Ses sources de plasma multi-électrodes permettent une large gamme de vitesses de gravure et présentent des pressions de chambre variables allant jusqu'à 1,0 x 10-3 Torr. Le processus de cueillette a une fonction de piège à température automatique, qui détecte avec précision la température de cueillette et la maintient sans autre ajustement. OXFORD Plasmalab 100 utilise des configurations de champs magnétiques multi-rebonds pour produire des bandes de résistance pour le tissage de film avancé. Plasmalab 100 est certifié CE et répond aux exigences de la norme EN 13485 et aux normes ISO 13485 et QSR (GMP). Il répond également aux exigences RoHS, EMC et CE. Avec ses capacités de gravure et de dépôt avancées et sa conformité en matière de sécurité et d'environnement, OXFORD Plasmalab 100 est un choix idéal pour de nombreuses applications avancées de microfabrication.