Occasion OXFORD Plasmalab 100 #293641059 à vendre en France
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OXFORD Plasmalab 100 est un graveur et asher de précision de haute qualité. Cet équipement tout-en-un a été conçu pour les universités et les installations de recherche nécessitant des rotations rapides pour les applications de semi-conducteurs et de microélectronique. Le dispositif intègre une source de plasma avec un 6 po. gravure et chambre cendrée. La chambre est conçue pour effectuer à la fois des opérations de gravure et de cendrage qui nécessitent un haut degré de contrôle afin d'atteindre la qualité de surface requise. Le dispositif utilise une source de plasma à couplage inductif basse pression (ICP). Cette source de plasma est capable de fournir un environnement plasma extrêmement propre et homogène pour des retournements rapides. Sa décharge plasma à couplage inductif (ICP) offre des performances exceptionnelles en termes de rendement et de précision. La chambre à vide a une disposition en forme de T pour fournir une large gamme d'options de gravure et de cendre. L'ensemble vertical en T offre un haut degré de contrôle lors de la gravure et de l'ashing. L'utilisateur peut ajuster l'angle et la vitesse de la décharge du plasma, ainsi que la pression du gaz perfluorocarbone (C4F8) pour obtenir la finition de surface souhaitée. L'ensemble du système est construit avec une attention particulière aux détails pour des performances supérieures. Chaque composant de l'unité est construit à partir de matériaux d'ultra-haute pureté. La chambre est facile à charger et à décharger, avec une porte à actionnement pneumatique, et offre des contrôles conviviaux grâce à l'interface graphique intégrée. Plasmalab 100 etcher et asher offre à la fois répétabilité et fiabilité. Sa machine de gestion thermique de pointe garantit des conditions uniformes et cohérentes, tandis que l'outil de sécurité géré en interne assure la sécurité des opérateurs avec des mesures de sécurité fiables et complètes. En conclusion, OXFORD Plasmalab 100 fournit une solution de gravure et de cendrage fiable et efficace pour toute application. Il est facile à utiliser, a un haut degré de précision et de répétabilité, et offre des performances supérieures.
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