Occasion OXFORD Plasmalab 100 #293656747 à vendre en France

Fabricant
OXFORD
Modèle
Plasmalab 100
ID: 293656747
Taille de la plaquette: 8"
PECVD System, 8" Process: SiN.
OXFORD Plasmalab 100 est un graveur/développeur conçu pour une large gamme de procédés de dépôt sous vide de couches minces. L'unité dispose d'un design compact et durable, ce qui lui permet d'être utilisé dans de nombreux environnements industriels et de laboratoire. Plasmalab 100 est équipé d'une gamme de composants technologiques de pointe, lui permettant de graver et de déposer une grande variété de matériaux. Cela comprend les couches minces d'oxyde de silicium, de nitrure, d'aluminium, de titane, de tungstène et divers métaux, alliages et oxydes. L'unité dispose d'une chambre autonome avec une pompe intégrée pour pomper tous les gaz nécessaires et créer la pression de vide requise. Sa conception étanche assure une alimentation régulière en gaz propre de la chambre de dépôt, permettant une gravure et un dépôt précis et fiables des matériaux. Un régulateur de pression programmable intégré ajuste automatiquement la pression dans la chambre pour des performances de gravure optimales. OXFORD Plasmalab 100 est équipé d'une alimentation électrique massive de 4 kW, capable de fournir la puissance nécessaire à l'entraînement d'une large gamme de recettes de gravure, des processus de faible à haute densité de courant. Une source d'ions réglable permet à l'utilisateur d'adapter le faisceau d'ions au matériau en cours de gravure ou de développement. Cela inclut la capacité d'ajuster la densité d'énergie et de courant, ainsi que la taille du spot, qui sont tous deux des paramètres importants pour graver des caractéristiques uniformes de même taille et profondeur. L'appareil dispose également de réglages à moyenne et basse pression, qui doivent être réglés par l'utilisateur en fonction du type de matériau et de la profondeur de la gravure nécessaire. Les diagnostics embarqués affichent le débit de gaz, la pression de la chambre, les paramètres du faisceau d'ions, et plus encore lors de la gravure en temps réel. Cela permet un contrôle et une surveillance complets du processus de gravure. Plasmalab 100 est une unité fiable et robuste qui est facile à installer et à utiliser. Son simple panneau de contrôle utilisateur permet un accès rapide à tous les outils nécessaires, qui peuvent être adaptés aux besoins spécifiques de gravure. En même temps, il dispose de mécanismes avancés de contrôle de la sécurité pour s'assurer que les matières dangereuses, comme les gaz inflammables, sont utilisées de manière sûre et responsable.
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