Occasion OXFORD Plasmalab 100 #293660206 à vendre en France
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ID: 293660206
Style Vintage: 2005
System
With ICP 180
Gases: C4F8, CHF3, SF6
2005 vintage.
OXFORD Plasmalab 100 est un graveur/asher conçu pour la gravure plasma de précision, permettant des vitesses de gravure élevées et des profils de gravure uniformes tout en offrant une grande efficacité énergétique et un traitement rapide des échantillons. Cet équipement comprend une chambre à vide conviviale avec une technologie de vide avancée, un mandrin et des électrodes de haute précision, et un logiciel spécifique à l'application pour la gravure précise de différents matériaux à une variété de profondeurs. Grâce au réacteur homogène du système, les chercheurs peuvent graver uniformément les substrats sans déplacement d'échantillon ni endommagement. Des vitesses de gravure élevées combinées à un ensemble haute précision de mandrin et d'électrode permettent aux utilisateurs de graver avec précision un large éventail de matériaux avec des profils de gravure reproductibles de haute fidélité. De plus, Plasmalab 100 assure une détection uniforme de la profondeur de gravure et du point d'extrémité grâce à un plateau unique de distribution de gaz qui répartit uniformément les gaz réactifs à travers le substrat pour une uniformité de vitesse de gravure élevée. La technologie de vide de pointe de l'unité permet également un régime ultra-basse pression pour la gravure haute résolution des tranchées sub-microns et autres structures microfabriquées avec des tailles de caractéristiques inférieures à 50nm. Ceci assure un processus de gravure sèche qui produit des profils à basse température, permettant une gravure pratique des dispositifs avancés avec un risque minimal de délamination ou de rupture due aux contraintes thermiques. Le logiciel inclus offre une vaste programmabilité d'application avec optimisation de pointe, reconnaissance de motifs de substrat, détection d'endpoint, contrôle multi-axes, et beaucoup plus d'options de contrôle pour assurer des résultats de gravure précis et fiables. De plus, un processus d'auto-apprentissage adaptatif peut être configuré pour varier continuellement les conditions de gravure pour un contrôle optimal du taux de gravure et du profil. Les fonctions avancées d'enregistrement des données permettent également de surveiller et d'afficher facilement les paramètres du processus, l'heure du jour, la durabilité et d'autres paramètres essentiels. OXFORD Plasmalab 100 est une solution idéale pour la gravure de couches minces, d'appareils MEMS et de composants MEMS. Avec son haut niveau de précision, de répétabilité et de fonctionnalité, il fournit des profils de gravure propres et reproductibles avec un risque minimal de changement d'échantillon ou de dommages. Cette machine est idéale pour les chercheurs qui recherchent des structures MEMS avancées, qui nécessitent une gravure rapide, uniforme et fiable.
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