Occasion OXFORD Plasmalab 100 #293743445 à vendre en France

Fabricant
OXFORD
Modèle
Plasmalab 100
ID: 293743445
Taille de la plaquette: 6"
System, 6" (2) Process modules Quartz clamp, 6" PECVD Left chamber ICP/RIE Right chamber with turbo Endpoint detector laser Square loadlock with rotating arm PLC Controller (3) Oil pumps Chiller PC PECVD Gas pod: SiH4 (Silane), N2O and NH3 (Ammonia) ICP/ RIE Gas pod: C4F8, O2 and He Operating system: Windows 2000.
OXFORD Plasmalab 100 est un graveur/asher très avancé idéal pour une large gamme d'applications industrielles et de recherche. Avec sa technologie de pointe, cet équipement offre des capacités de gravure et de cueillette précises et précises pour les laboratoires de recherche et développement. Ce graveur/asher dispose d'un puissant générateur RF de 200 watts, permettant d'atteindre des taux de gravure et de cendres élevés. Son logiciel de contrôle entièrement intégré et facile à utiliser permet de sélectionner facilement les paramètres de gravure et de cendres. De plus, les systèmes disposent d'un écran tactile de 16 pouces, grand et intuitif, qui permet à l'utilisateur de contrôler et de suivre facilement l'avancement du processus de gravure et de cueillette. Plasmalab 100 offre également une variété d'options de gravure et d'ashing. Il supporte une large gamme de matériaux de substrat, et sa plate-forme robuste le rend idéal pour les applications de puissance supérieure. Il peut également être utilisé pour graver des substrats structurés, y compris des plaquettes, des matrices et des substrats céramiques, et peut générer une gamme de tailles et de profondeurs de caractéristiques. Cela le rend adapté à une variété d'applications de recherche industrielle, microélectronique, semi-conductrice et biologique. Ce système offre une variété de capacités de contrôle de processus pour assurer des résultats absolument reproductibles et reproductibles. Il offre un contrôle manuel et automatisé des gravures et des cendres, permettant un contrôle précis des taux de gravure et de cendres. De plus, il dispose d'une source unique de Plasma Ionisé Turbulent (TIP) qui fournit une réponse rapide lorsque les paramètres du processus sont modifiés, ce qui conduit à un plasma très homogène dans toute la chambre de l'unité. Il dispose également d'une douche à gaz qui aide à assurer une distribution uniforme du gaz et peut réduire la formation de particules. OXFORD Plasmalab 100 dispose également d'un double plateau refroidi, permettant une évacuation efficace de la chaleur générée lors du processus de gravure et de cueillette. Pour des taux de gravure ou de cendres extrêmement élevés, il offre une machine de refroidissement rapide, ainsi qu'un composant de refroidissement amélioré qui augmente la capacité de refroidissement jusqu'à 80 %. Ses caractéristiques de sécurité avancées comprennent une enceinte de sécurité et un interrupteur d'arrêt d'urgence. Certifié CE, il est disponible en deux modèles différents, l'un à usage industriel et l'autre en laboratoire. Enfin, il est livré avec une garantie de deux ans qui couvre les pièces, le travail et les frais de voyage.
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