Occasion OXFORD Plasmalab 100 #293743445 à vendre en France
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ID: 293743445
System
(2) Process modules
Quartz clamp, 6"
PECVD Left chamber
ICP/RIE Right chamber with turbo
Endpoint detector laser
Square loadlock with rotating arm
PLC Controller
(3) Oil pumps
Chiller
PC
PECVD Gas pod: SiH4 (Silane), N2O and NH3 (Ammonia)
ICP/ RIE Gas pod: C4F8, O2 and He
Operating system: Windows 2000.
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