Occasion OXFORD Plasmalab 100 #293748565 à vendre en France

OXFORD Plasmalab 100 est un équipement de graveur/asher conçu pour des applications avancées de préparation et de dépôt d'échantillons. Il s'agit d'une combinaison multi-cathode etcher et asher, équipée de basse tension électronique. Il offre une flexibilité totale dans la conception des motifs et la sélection des paramètres de processus, ainsi que la possibilité de fonctionner avec des substrats standard. Plasmalab 100 dispose de trois chambres de gravure indépendantes de 20 cm de diamètre, chacune configurée avec deux cathodes magnétron mobiles, permettant des processus doubles et triples dans chaque chambre. Le balayage rapide des magnétrons, ainsi que l'option de fonctionnement statique, permettent une bonne uniformité et un bon contrôle des gravures. Le gaz de procédé est introduit à des vitesses différentes, de sorte qu'il est toujours à la concentration optimale pour les procédés de gravure/cendres. Le système comprend un certain nombre de paramètres et de fonctionnalités de processus configurables. La puissance cathodique peut être réglée entre 0 et 350 W et l'énergie peut être changée en 1 W incréments. Il existe une unité d'interception et de contrôle de sécurité qui assure l'intégrité du processus. Le porte-échantillon a un support universel pour tous les types de substrats. OXFORD Plasmalab 100 propose également une large gamme de techniques de cendrage, y compris le cendrage à basse température, la gravure diélectrique et le cendrage agressif traditionnel à base d'oxygène ou d'oxydant. En outre, la machine peut également effectuer la passivation et la nitridation des parois latérales. Un outil de bombardement ionique à basse énergie (LEIB) est également inclus dans la chaîne d'outils de l'outil pour éliminer les particules et les débris qui peuvent se former au cours du processus. Le procédé ETCH/ASH peut être surveillé in situ avec un spectromètre de masse ou un interféromètre optique. L'actif dispose également d'un outil de diagnostic à distance intégré qui peut être utilisé pour ajuster rapidement les paramètres du modèle. Plasmalab 100 est un équipement incroyablement puissant adapté à un large éventail d'applications, de la préparation des échantillons à la gravure en passant par le dépôt et le traitement. Sa flexibilité et ses fonctionnalités avancées en font une solution idéale pour les applications les plus exigeantes.