Occasion OXFORD Plasmalab 100 #293766784 à vendre en France

OXFORD Plasmalab 100
Fabricant
OXFORD
Modèle
Plasmalab 100
ID: 293766784
Taille de la plaquette: 8"
PECVD System, 8".
OXFORD Plasmalab 100 est un équipement de graveur et asher de pointe conçu pour fournir des performances supérieures dans la recherche et les applications industrielles où la précision et la répétabilité sont essentielles. Il combine une source de plasma intégrée et peu dimensionnelle avec un contrôle rapide du débit de gaz, permettant la gravure précise et la cueillette d'une large gamme de matériaux. Le système automatisé entièrement programmable offre des avantages importants en termes de qualité de processus et de temps de cycle. Plasmalab 100 dispose de sources plasmatiques RF doubles, permettant un traitement flexible de divers matériaux. L'excellente absorption des ondes radiofréquences par le gaz de gravure élimine la nécessité d'une unité à vide élevé séparée, permettant des vitesses de gravure et de cendrage inégalées, une formation de résidus faible et un transfert de profil optimal. La source de plasma turbulent intégré offre une bonne qualité de surface et une meilleure sélectivité pour isoler les différentes couches. Les deux sources sont alimentées par un convertisseur AC/DC fiable et éprouvé sur le terrain, qui est contrôlable à une précision inférieure à 0,1 %. OXFORD Plasmalab 100 se compose d'une enceinte, d'une chambre de procédé, d'une télécommande et d'un mélangeur de stockage d'échantillons en option. La chambre est faite d'une structure en acier inoxydable ultra mince et d'une fenêtre en verre de quartz résistant à la température pour une distribution uniforme du plasma. Les deux sources sont intégrées dans la chambre et sont entièrement hermétiquement fermées, ce qui assure une grande stabilité et de faibles émissions de particules. La chambre est également équipée d'une puissante machine d'échappement avec des vitesses de pompage élevées et de basses pressions de fond. En termes de fonctionnalité, Plasmalab 100 offre une flexibilité et un contrôle supérieurs. Il dispose d'un contrôle de l'énergie et de l'efficacité inégalé, avec une large gamme de paramètres de puissance et de processus. Cela permet des processus reproductibles et précis avec des résultats optimisés. Le logiciel convivial et l'interface graphique intuitive ont une large gamme de paramètres, permettant aux utilisateurs de créer et de stocker plusieurs recettes de gravure et d'ashing pour différents matériaux. L'outil avancé de contrôle des processus d'OXFORD Plasmalab 100 et la tenue de dossiers détaillée offrent une traçabilité inégalée. Plasmalab 100 est un actif de gravure et de cendrage innovant aux performances inégalées. Il offre un contrôle, une répétabilité et une précision inégalées tout en offrant aux utilisateurs une large gamme de fonctionnalités. Cela en fait le modèle idéal pour les laboratoires de recherche et les applications industrielles nécessitant une précision et des résultats optimisés.
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