Occasion OXFORD Plasmalab 100 #293798318 à vendre en France
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ID: 293798318
Reactive Ion Etcher (RIE)
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PC.
OXFORD Plasmalab 100 est un graveur/asher conçu pour la gravure de précision irréversible et la structure microscopique de surface de tout matériau rigide. La machine est capable de graver et de soutirer les matériaux organiques et inorganiques, y compris les métaux, les alliages, les diélectriques, le verre et les matériaux céramiques. Plasmalab 100 a une petite empreinte, mais peut accueillir de grandes plaquettes et substrats jusqu'à 10,25 pouces de diamètre. Sa conception flexible permet une large gamme de paramètres de processus, ce qui signifie que la microstructuration de précision peut être effectuée à des températures extrêmement basses, moyennes et élevées avec une atmosphère contrôlée. OXFORD Plasmalab 100 est équipé d'un régulateur de débit massique de précision (MFC), fournissant des flux de gaz précis et reproductibles, ainsi que d'un système de pompage turbomoléculaire pour contrôler avec précision la pression dans le système. Une chambre de serrure est intégrée à la machine, permettant un chargement et un déchargement rapides et faciles du substrat. La source de plasma intégrée de Plasmalab 100 est capable de produire du plasma RF et DC utilisant une technique « électrode flottante ». Cette technique permet à OXFORD Plasmalab 100 de produire des densités plasmatiques extrêmement faibles et contrôlées pour fournir un niveau élevé de précision et de précision pour les processus de microstructuration. Plasmalab 100 peut également fournir des capacités de gravure profonde, permettant de produire des caractéristiques et des structures de différentes profondeurs et formes de manière fiable et avec des résultats reproductibles. La machine peut également être utilisée pour des modifications de surface par dopage ou dépôt afin d'augmenter encore les propriétés recherchées du matériau. Afin de s'assurer que les meilleurs résultats peuvent être obtenus à chaque exécution, OXFORD Plasmalab 100 dispose d'une surveillance et d'un contrôle des processus embarqués. En utilisant des systèmes avancés de contrôle des processus, les opérations de la machine peuvent être étroitement surveillées et ajustées en temps réel. Cela permet de garantir une qualité élevée, des processus reproductibles et des résultats fiables. Pour compléter les capacités de Plasmalab 100, la machine est entièrement compatible avec une large gamme de matériel d'avant et de post-traitement. Des techniques telles que la photolithographie, la diffraction des rayons X (XRD), la spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS), la microscopie par force de surface (SFM) et l'imagerie optique peuvent être utilisées pour surveiller et analyser les motifs résultants. En conclusion, OXFORD Plasmalab 100 est un graveur/asher de haute précision avec un design flexible et une large gamme de capacités. Sa source de plasma intégrée et son système de surveillance lui permettent de produire des résultats de la plus haute qualité à basse température avec répétabilité. De plus, en raison de sa compatibilité avec divers matériels extérieurs, il est possible à la fois de surveiller et d'analyser les motifs produits.
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