Occasion OXFORD Plasmalab 100 #293824078 à vendre en France

OXFORD Plasmalab 100
Fabricant
OXFORD
Modèle
Plasmalab 100
ID: 293824078
Inductively Coupled Plasma (ICP) etcher.
OXFORD Plasmalab 100 est un équipement de gravure et de levage-gravure (ELO) capable de produire des résultats de haute qualité, très précis plasma couplé capacitif (CCP). Le système produit des caractéristiques de haute résolution avec des aspects supérieurs, la précision des contours et le niveau de définition. Plasmalab 100 est optimisé pour une utilisation avec gravure d'oxyde, photorésist de soulèvement d'oxyde, et processus de gravure inverse d'oxyde. OXFORD Plasmalab 100 dispose de la technologie plasma Extrêmement Low Flow (ELF), qui utilise une petite unité de débit de gaz unique qui fournit des gravures plus propres et plus fiables grâce à des temps de processus constants et une uniformité. La machine peut être réglée électroniquement sur une variété de paramètres de fonctionnement avec une réponse rapide et flexible. Plasmalab 100 est équipé d'une chambre à vide de 12 "avec une alimentation électrique 50kHz, fournissant un processus de gravure fiable et efficace. OXFORD Plasmalab 100 offre également la fonction Automatic Frequency Tune (AFT) pour régler dynamiquement et automatiquement le réglage de la fréquence de la chambre de gravure en fonction de la quantité de matériau enlevé. Cela permet aux utilisateurs de réaliser des gravures plus profondes, des murs plus lisses et de meilleures dimensions. L'outil dispose également d'une reconnaissance XYZ Stage de précision et d'une interface utilisateur graphique intuitive (UI). Cette interface graphique est conçue pour fournir un moyen simple et rapide de contrôler les paramètres de la chambre et de reproduire les résultats, même au milieu d'une gravure multicouche. L'atout est également fourni avec des fonctionnalités complètes de contrôle et de diagnostic de processus, y compris des capacités de simulation avancées, la détection de défauts non entretenus, et la surveillance de l'état de la chambre pour assurer une performance optimale du processus. De plus, Plasmalab 100 fournit un capteur de défocalisation du faisceau, un réglage automatique de la mise au point, une intensité de faisceau programmable et une capacité avancée de création de recettes couche par couche. Dans l'ensemble, OXFORD Plasmalab 100 est un graveur efficace et puissant qui est conçu pour fournir aux utilisateurs des résultats de qualité constante avec une précision et une uniformité imbattables. Les caractéristiques avancées du modèle en font un excellent choix pour les applications de gravure de prototype et de production.
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