Occasion OXFORD Plasmalab 100 #9097045 à vendre en France

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Fabricant
OXFORD
Modèle
Plasmalab 100
ID: 9097045
Taille de la plaquette: 6"
ICP System, 6" Currently configured for 4" Inductive Coupled Plasma Source (180 ICP) Chuck type: Mechanical Clamping Load-locked single chamber (ICP) Advanced Energy RFX600 13.56 Mhz RF Generator Advanced Energy RFX3000 13.56 Mhz RF Generator Alcatel ATH1300M Maglev Turbo Pump Alcatel ACT 1300M Controller HP Compaq Computer w/ Win NT 4.0 PC2000NT Software Ver. 2.57.92 LCD Monitor, Keyboard, and Mouse (2) Leybold Vacuum Pumps EMO Button Operations Manual (6) MFCs consisting of: CHF3 SF6 O2 Ar C4F8 BCL3 2002 vintage.
OXFORD Plasmalab 100 est un graveur/asher conçu pour fournir des résultats améliorés et reproductibles dans le traitement du plasma. Ce dispositif offre une plate-forme polyvalente, permettant aux utilisateurs de passer rapidement et facilement entre les applications de gravure et d'ashing, tout en tenant compte des configurations en ligne et par lots. Cet équipement de graveur/asher polyvalent est alimenté par la technologie OXFORD des sources de plasma à radiofréquence avancée (RF), qui utilise un générateur RF principal avec une puissance variable jusqu'à 100 watts et des chambres avancées pour le dépôt, la gravure et le contrôle de la cendre. Plasmalab 100 dispose d'un système de recette ultra-rapide pour optimiser rapidement les résultats du processus. Cette chambre en acier usiné dispose d'un chauffage et d'un refroidissement uniformes contrôlés par PID numérique, d'une purge inerte et d'une variété de recettes de procédé. L'unité est capable de gravure atmosphérique et basse pression et de cendrage, assurant que les conditions de traitement les plus compatibles et optimales sont toujours maintenues dans la chambre. Les systèmes intégrés de sécurité et de protection sur OXFORD Plasmalab 100 sont complets et complets, empêchant l'utilisateur d'endommager accidentellement la chambre ou d'autres composants. La machine comprend une protection contre les températures excessives, une protection contre les courants excessifs et des systèmes de verrouillage de sécurité pour assurer un fonctionnement sûr. L'outil intégré d'extraction des fumées élimine en toute sécurité tout milieu vaporisé, de sorte qu'il n'entre pas dans la zone de travail. Plasmalab 100 dispose également d'un atout de contrôle intégré qui permet aux utilisateurs d'automatiser les commandes les plus couramment utilisées, telles que la sélection de recettes, le contrôle de pompe et la sélection de contrôleurs. Ce modèle de contrôle permet aux utilisateurs de programmer rapidement et facilement une grande variété de paramètres avec juste le clic d'une souris. De plus, l'équipement comprend une interface utilisateur graphique complète qui assure la surveillance et le contrôle en temps réel de nombreux paramètres du système. OXFORD Plasmalab 100 est un graveur/asher polyvalent et économique, conçu pour offrir une répétabilité améliorée dans les applications de traitement du plasma. En tirant parti de la technologie de pointe des sources RF, cette unité offre une gamme d'avantages par rapport aux méthodes de gravure traditionnelles, comme une meilleure uniformité des procédés et une répétabilité accrue. De plus, les protections de sécurité intégrées offrent un environnement de travail sécurisé, tandis que la machine de contrôle intégrée permet à l'opérateur d'automatiser rapidement les processus.
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