Occasion OXFORD Plasmalab 100 #9220686 à vendre en France

OXFORD Plasmalab 100 est un équipement de gravure et de cueillette de pointe conçu pour des applications de gravure plasma et de cueillette de précision. Ce système utilise une combinaison de puissance RF (High Power Radio Frequency) et de contrôle de processus précis pour fournir des résultats précis de gravure et de cueillette. L'unité est équipée avec une source magnetron 24-GHz concentrée sur la masse assignable de 12 pouces qui fournit jusqu'à 2 kW de pouvoir RF. Cette machine est capable de déposer plusieurs couches de matériau sans surgravure et sans ajouter des niveaux de contamination particulaires importants. Plasmalab 100 propose un large choix d'options d'ashing post-process permettant une gamme d'utilisations incluant la préparation des matériaux, la photolithographie et l'élimination de la contamination. La distribution de puissance et le contrôle des processus de l'outil offrent une large gamme d'options de gravure et de cueillette comme la gravure et la cueillette de l'aluminium, la gravure et la cueillette du silicium, la gravure et la cueillette du verre, et d'autres types de gravure et de cueillette. L'actif est bien adapté à des applications telles que la préparation d'échantillons pour le test des plaquettes, la lithographie et la préparation de nouvelles plaquettes. Le modèle est capable de graver et comme isotrope et anisotrope sans pénétration significative de particules. Il est également équipé d'un équipement de traitement par lots hautement configurable qui comprend une variété de paramètres programmables définis par l'utilisateur. OXFORD Plasmalab 100 est facile à utiliser et à entretenir, offrant aux utilisateurs une gamme complète d'outils pour développer des processus de gravure et d'ashing complexes. Le système offre une source ECR basse fréquence, une sous-unité d'alimentation automatique et des options de chauffage mono-bobine et double-bobine. La machine dispose également d'une grande surface de travail de 6 « x 12 », permettant une variété de tailles d'échantillons. Dans l'ensemble, Plasmalab 100 est un outil de gravure/cueillette puissant et fiable. Il est conçu pour la gravure de précision et les résultats de cendrage et est bien adapté à un large éventail d'applications, de la préparation des matériaux et de l'élimination de la contamination à l'essai des plaquettes et la lithographie.