Occasion OXFORD Plasmalab 100 #9258339 à vendre en France

OXFORD Plasmalab 100 est un graveur/asher plasma de haute précision scientifiquement conçu pour obtenir une performance optimale du procédé. Il permet la gravure rapide et précise des substrats et des matériaux les plus difficiles à graver, tels que la diélectrique organique, les métaux, les nitrures et d'autres matériaux difficiles à graver. L'outil utilise un chauffage précis du substrat et un contrôle de dépôt visuel actif modulaire très efficace pour créer des composants. Plasmalab 100 possède des capacités automatisées de chargement des navires, de détection des points d'extrémité et de gestion des gaz. Le chargement automatisé de la cuve assure que les substrats à l'intérieur de la chambre sont placés dans un environnement sûr et sécurisé. La détection du point final permet de surveiller le débit de gaz, le temps, la pression et la puissance RF. Le système de gestion du gaz contrôle les paramètres de processus nécessaires à un processus de gravure/cueillette réussi. Le système permet également de réduire le temps d'arrêt causé par les erreurs de manipulation du substrat. Le système est intégré à une grande chambre pour assurer une gravure uniforme sur l'ensemble de la plaquette. Cette grande chambre abrite la source de plasma, les électrodes et les vapeurs spécifiques du procédé pour effectuer le processus de gravure. OXFORD Plasmalab 100 est intégré à deux types différents de sources de plasma, à savoir RF Source et Magnetron source de plasma. La source RF est utilisée principalement pour les procédés de gravure sèche, tandis que la source de plasma magnétron plus avancée est idéale pour les procédés de gravure humide. Plasmalab 100 est intégré avec des systèmes de régulation de température avancée (ATC) de haute précision qui permettent à l'outil de chauffer la plaquette à la température requise avec précision. Cela garantit des processus de gravure très précis avec un impact minimal sur la qualité de surface de la plaquette. Il est également conçu pour fournir un maximum de 400W de puissance pour la plaquette. La puissance élevée d'OXFORD Plasmalab 100 permet également des processus de gravure plus rapides. Plasmalab 100 est intégré à la technologie avancée de détection de point d'extrémité qui fournit une vue précise en temps réel du processus de gravure. Cette technologie est extrêmement précise, tout en offrant un coût de propriété très faible. Les logiciels livrés avec OXFORD Plasmalab 100 offrent une large gamme de fonctionnalités de support de processus. Dans l'ensemble, Plasmalab 100 présente un outil de gravure et de cueillette économique et de haute précision pour la plupart des matériaux avancés. La précision et la précision du processus peuvent être largement comparées à d'autres systèmes de graveur/asher premium avec un coût global beaucoup plus faible.