Occasion OXFORD Plasmalab 100 #9364613 à vendre en France

OXFORD Plasmalab 100 est un graveur/asher basé sur une source de plasma inductivement couplée (ICP). Elle est constituée d'une seule chambre de grande source dans laquelle on peut injecter divers gaz afin de permettre la gravure/cueillette d'un large éventail de matériaux. La chambre a été conçue pour être utilisée à la fois avec de grands substrats de plaquettes et avec les paramètres plasmatiques souhaités pour des résultats de gravure/cueillette de haute précision. Il est équipé d'une source de plasma à couplage inductif basse pression qui fournit à la fois des ions et des espèces neutres pour la gravure/l'ashing. Le système d'auto-polarisation permet de régler les paramètres plasmatiques tels que la puissance de source, la séparation des électrodes et la fréquence RF. La chambre de Plasmalab 100 est capable de graver des échantillons jusqu'à 8 pouces de diamètre tout en réalisant des rapports d'aspect de gravure ultra-élevés et en minimisant la distorsion des échantillons. Il est équipé d'une grande variété de fonctionnalités matérielles et logicielles qui permettent de contrôler des paramètres tels que la pression du processus, les flux de gaz, la pulvérisation avant et arrière de la surface de la plaquette, et la capacité de traiter des échantillons de différentes hauteurs. En outre, il comprend un moniteur de pression intégré et une pompe basse pression qui peut réduire la pression à l'intérieur de la chambre à des niveaux très bas. OXFORD Plasmalab 100 dispose également d'un système d'imagerie haute résolution qui peut être utilisé pour surveiller les processus de gravure/cendres en temps réel et ainsi minimiser le besoin d'imagerie post-traitement. Son système de pompage automatisé permet la mesure répétée des processus de gravure/cendres et permet un ajustement précis des paramètres plasmatiques pour une répétabilité améliorée. Plasmalab 100 possède également des dispositifs de sécurité pour réduire au minimum les risques de surpression et d'explosivité dans la chambre source. OXFORD Plasmalab 100 contient également un générateur RF de haute puissance capable de générer des fréquences allant de 500 à 5000 hertz. Cette fonctionnalité permet la variation des paramètres du processus et l'optimisation des profils de gravure/ashing pour mieux correspondre au résultat souhaité par le client. En outre, une série d'alarmes intégrées de sécurité et de sécurité surveille la pression à l'intérieur de la chambre afin d'assurer des conditions de travail optimales. Plasmalab 100 comprend également plusieurs systèmes de surveillance intégrés qui aident à réduire les coûts de maintenance en avertissant les utilisateurs lorsque la maintenance est nécessaire. Dans l'ensemble, OXFORD Plasmalab 100 est un graveur/asher avancé avec toutes les fonctionnalités nécessaires pour obtenir des résultats de gravure/ashing de haute précision. Ses caractéristiques complètes le rendent adapté à une grande variété d'applications de gravure/ashing. Les fonctionnalités logicielles et matérielles sophistiquées, associées à ses systèmes de sécurité intégrés, garantissent à Plasmalab 100 des performances de gravure/cueillette cohérentes et fiables pour tous les utilisateurs.