Occasion OXFORD Plasmalab 80 Plus #293607498 à vendre en France

OXFORD Plasmalab 80 Plus est un outil de gravure et d'ashing pour la préparation d'échantillons à analyser. Il supporte à la fois les processus de gravure plasma et de cueillette afin d'éliminer les couches de matériau de la surface de l'échantillon avec une grande précision. Il peut supporter les processus de gravure et d'ashing de différents matériaux tels que Si, GaAs et InP. L'etcher est équipé d'une source d'auto-compensation, d'appariement de charge et d'autres fonctionnalités de performance pour assurer une productivité et une qualité de processus toujours élevées. Grâce à sa conception intégrée de mandrin en plaquettes, la Source de gravure permet un alignement efficace des échantillons et un transfert rapide du gaz de gravure et de la puissance plasmatique pulsée nanoseconde. La conception de mandrin en plaquette offre également un support pour différentes tailles d'échantillons, jusqu'à huit pouces de diamètre. Le procédé de gravure est réalisé dans une chambre de plasma à basse pression et haute température, qui est équipée de filtres EMI pour maintenir la propreté de l'environnement de gravure. La chambre est également équipée d'un épurateur à gaz in situ, pour permettre la récupération des gaz d'échappement et la capacité de recyclage pour un rendement de gravure maximal. En outre, la chambre dispose d'un capteur in situ automatisé pour un contrôle précis et reproductible des processus. Le processus de gravure est complété par un système de sécurité avancé, qui interdit le démarrage du processus jusqu'à ce que tous les paramètres de sécurité aient été respectés. Le processus de cendre emploie une « source de cendres unique » technologiquement avancée. Il supporte à la fois les cendres TMAH et les cendres RCA-1 propres. La « source de cendres unique » offre un contrôle supplémentaire des températures de gravure, ainsi que la stabilité du processus de cendres. Le système dispose également d'un épurateur à gaz intégré pour la récupération de la température et le recyclage des gaz d'échappement, si nécessaire. Plasmalab 80 Plus dispose également d'une interface logicielle intuitive, qui permet une configuration et un contrôle efficaces des processus. Grâce à son interface graphique, les recettes de processus peuvent être facilement créées, éditées et surveillées, et les paramètres de processus peuvent être ajustés en temps réel. Le logiciel permet également le stockage et l'exportation de données pratiques, pour faciliter le partage et l'optimisation des processus. Dans l'ensemble, OXFORD Plasmalab 80 Plus est un outil idéal pour réaliser des processus de gravure et d'ashing de divers matériaux. Sa technologie sophistiquée et sa suite logicielle complète en font un choix idéal pour la préparation d'échantillons dans une variété d'applications liées à la fabrication et à la recherche.