Occasion OXFORD Plasmalab 80 Plus #293637518 à vendre en France

OXFORD Plasmalab 80 Plus est un équipement de gravure et de traitement de pointe conçu pour répondre aux besoins d'une variété d'applications avancées de recherche et de développement en technologie des semi-conducteurs. Le système combine une structure de gravure ultra-précise avec des composants périphériques matériels et logiciels à haut rendement, offrant aux utilisateurs une plateforme complète de développement de processus. Plasmalab 80 Plus est composé d'une unité hôte, d'une chambre de processus et de plusieurs composants périphériques. La machine hôte se compose d'un outil intégré de contrôle de plate-forme et d'une logique de planification optimisée, ainsi que de plusieurs outils d'affichage avancés et sous-systèmes spéciaux. La chambre de procédé comprend une chambre à vide, une source de plasma et une tête de douche. La chambre à vide est équipée d'une pompe turbo-moléculaire, permettant aux utilisateurs d'atteindre des pressions absolues allant jusqu'à 1 x 10-6 Torr. La tête de douche est un porte-étui en quartz polyvalent nettoyé optiquement, permettant une traçabilité complète du processus. La source de plasma est une source avancée à flux direct à base électromagnétique qui aide à supporter la gravure de caractéristiques à haut rapport d'aspect. En outre, OXFORD Plasmalab 80 Plus est équipé de plusieurs composants périphériques, dont un actif de gestion des recettes, un modèle de gestion des échantillons, un équipement de contrôle des processus et d'acquisition de données, un système manuel de chargement des échantillons, une unité de contrôle du gaz et des produits chimiques, une machine d'alignement des échantillons, un outil de suivi et d'imagerie de résistance et un actif CVD. Le modèle de gestion des recettes facilite le développement et l'optimisation rapides de nouveaux procédés, permet une gestion, une surveillance et un contrôle efficaces (au-dessus de la production, des essais et des mesures des dispositifs semi-conducteurs), et facilite la surveillance des processus en temps réel et la collecte des produits. L'équipement de gestion des échantillons permet la collecte et le nettoyage automatisés des plaquettes et des échantillons pendant le processus de gravure et aide à la collecte des plaquettes propres après la gravure. Plasmalab 80 Plus est un système de graveur/asher sophistiqué qui est capable de fournir des processus de gravure optimisés et des systèmes de contrôle complexes liés aux installations périphériques, fournissant aux chercheurs et aux développeurs une plate-forme multifonctionnelle complète pour les besoins de gravure et de traitement.