Occasion OXFORD Plasmalab 80 Plus #293660207 à vendre en France
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ID: 293660207
Style Vintage: 2005
System
Gases: SiH4, NH3, N2O, N2, CF4
2005 vintage.
OXFORD Plasmalab 80 Plus est un Plasma Etcher et Asher haute performance automatisé. Il offre d'excellentes performances de gravure plasma sur des structures complexes avec des résultats de haute qualité et reproductibles. Plasmalab 80 Plus est équipé d'une source ECR haute puissance et d'un étage motorisé pour la vitesse et la précision, ce qui le rend adapté à une large gamme de matériaux. Le puissant étage motorisé de l'Oxfod OXFORD Plasmalab 80 Plus peut atteindre des vitesses de balayage allant jusqu'à 100 mm/s et des tailles de pas aussi petites que 1 µm. Un équipement de contrôle avancé assure une excellente répétabilité et uniformité des taux de gravure sur la plaquette. Plasmalab 80 Plus dispose également d'un système fermé à basse pression pour une gravure efficace des micro-structures. Le fonctionnement précis de l'unité basse pression permet une gravure précise de caractéristiques plus petites et minimise le dépôt de particules. OXFORD Plasmalab 80 Plus est également équipé d'une machine de refroidissement à haut rendement, qui minimise les contraintes thermiques sur les plaquettes lors de la gravure. Cet outil permet de promouvoir une plus longue durée de vie de l'appareil et une meilleure performance de gravure. Plasmalab 80 Plus est également équipé d'un atout de livraison de gaz automatisé, qui est conçu pour fournir des flux de gaz multiples adapter précisément le processus de gravure pour une variété de matériaux de plaquettes. Ce modèle permet d'optimiser le processus de gravure, de minimiser la perte de matière et de réduire les temps de production. OXFORD Plasmalab 80 Plus dispose également d'un équipement de contrôle logiciel, qui permet une programmation et un contrôle faciles du processus de gravure. Les systèmes embarqués permettent un meilleur contrôle du système, une précision accrue et une gravure plus rapide. Plasmalab 80 Plus est une unité de gravure plasma avancée, fiable et facile à utiliser. Il offre d'excellentes performances de gravure sur une large gamme de matériaux avec une grande précision et répétabilité. C'est une machine idéale pour les petites et grandes séries de production et la gravure à faible coût par pièce.
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