Occasion OXFORD Plasmalab 80 Plus #293665218 à vendre en France
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ID: 293665218
Reactive Ion Etcher (RIE) / Inductive Coupled Plasma (ICP) Etcher
Cl2
SF6
SiCl3
CHF3
O2/Ar
Chiller.
OXFORD Plasmalab 80 Plus est un équipement de gravure/cueillette qui offre une solution fiable, répétable et robuste pour la gravure ou la cueillette de divers substrats et matériaux. Plasmalab 80 Plus utilise une gamme de procédés de gravure de précision, y compris la gravure ionique réactive (RIE), le plasma inductif couplé (ICP) et la gravure par dépôt chimique en phase vapeur (PECVD). Le processus peut être programmé de plusieurs façons pour garantir des résultats de gravure optimaux. OXFORD Plasmalab 80 Plus est conçu pour effectuer différents processus dans une chambre à vide. Il est capable de graver et d'aspirer des matériaux à une large gamme de températures, de l'ambiante à 250 ° C Avec une alimentation très précise allant de 0 à 1000 watts, le système peut être programmé avec des applications de puissance continue et diverses formes d'onde pour une gamme de processus de gravure avec différentes chimies. Plasmalab 80 Plus est équipé d'une unité de transfert automatique d'échantillons et d'étages d'échantillons pour transporter facilement les plaquettes. Il dispose également d'un logiciel permettant à l'utilisateur de contrôler le processus de gravure et de maintenir l'uniformité tout au long du cycle de gravure. En outre, des dispositions spéciales sont prises pour les matières et produits chimiques dangereux, assurant ainsi un environnement sûr. La machine est livrée avec un certain nombre de caractéristiques de sécurité pour une protection complète de l'utilisateur. Il comprend plusieurs embranchements, la surveillance de la pression, des capteurs d'oxygène et d'eau et des arrêts d'urgence. De plus, l'outil est conçu pour minimiser la contamination de la chambre et des pièces tout au long du processus. OXFORD Plasmalab 80 Plus est la solution idéale pour les applications de recherche, et d'autres applications nécessitant des configurations très précises des opérations de gravure ou d'ashing. Ses technologies de pointe, combinées à la répétabilité et à l'uniformité, en font le choix idéal pour ceux qui recherchent des processus de gravure et d'ashing fiables.
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