Occasion OXFORD Plasmalab 80 Plus #293668719 à vendre en France

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OXFORD Plasmalab 80 Plus
Vendu
ID: 293668719
PECVD System.
OXFORD Plasmalab 80 Plus est un Asher/Etcher de pointe conçu pour la fabrication de motifs métalliques fins d'un demi-micron pour des applications de haute technologie telles que l'emballage au niveau des plaquettes, la fabrication de circuits imprimés et la fabrication de MEMS. Cet équipement utilise deux technologies distinctes - la gravure ionique réactive (RIE) et le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) - pour graver, déposer, graver et déposer simultanément. La technologie RIE peut graver avec une grande précision, tandis que le PECVD est utilisé pour déposer des films avec une épaisseur précise. Plasmalab 80 Plus est équipé d'une double source d'ions, permettant une gravure ultra-précise d'une grande variété de matériaux. Cet etcher est également équipé d'un étage motorisé haute technologie et d'un vide adapté à la température, assurant des résultats de gravure et de dépôt précis et reproductibles. OXFORD Plasmalab 80 Plus offre une grande variété de recettes de processus pour différentes tâches de gravure et de dépôt, et est équipé d'un système de mélange de gaz, ainsi que de logiciels et de matériel intégrés pour contrôler et surveiller les processus de gravure et de dépôt. Plasmalab 80 Plus dispose d'une unité de commande sophistiquée, et peut traiter jusqu'à une taille maximale de plaquette de 200 mm. L'etcher est simple à utiliser, permettant une configuration rapide et le changement des processus et des recettes. Enfin, OXFORD Plasmalab 80 Plus est idéal pour les laboratoires qui ont besoin d'une machine de gravure/dépôt capable d'entreprendre des projets complexes et avancés.
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