Occasion OXFORD Plasmalab 80 Plus #9260764 à vendre en France
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Vendu
ID: 9260764
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1997
Reactive Ion Etcher (RIE), 6"
Gases: SF6, CHF3, Ar, O2, N2, H2
Cryogenic head
Capable of etching at 77K (LN2 Temperature)
Goes up to 50°C (323K)
(3) Gas mass controllers with valves
Backing pump
1997 vintage.
OXFORD Plasmalab 80 Plus est un graveur à ions réactif avancé (RIE) utilisé dans la microfabrication de dispositifs électroniques, optiques et biomédicaux. L'etcher combine des performances haut de gamme, une compatibilité et une flexibilité maximales, et une excellente utilisation conviviale. L'équipement de pointe est équipé d'une plate-forme avancée contrôlée par ordinateur, d'une conception à double chambre à haut débit et d'un système de vide ergonomique robuste. La technologie RIE de première génération de l'unité est capable de fournir une précision de gravure précise de manière uniforme et répétable. Il dispose d'une interface complète contrôlée par ordinateur avec la possibilité d'ajouter plusieurs processus simultanés. Son architecture à haut débit permet une gravure rapide de divers matériaux tels que les métaux, le verre et d'autres matériaux durs. Il offre également une excellente compatibilité avec une variété de matériaux différents, avec des plates-formes analogiques et numériques disponibles. Plasmalab 80 Plus fournit un profilage de profondeur précis avec une précision répétable de 1,5 cm et une résolution de 0,2 cm. Sa chambre est purgable jusqu'à 1,103 mbar pour l'élimination complète de tous les résidus de procédé. Sa machine de contrôle avancée permet un contrôle précis de tous les paramètres, y compris la sélection de recette, la température du substrat, la puissance RF, la fréquence RF, la polarisation DC, le vide, le débit, et plus encore. Sa conception isolante assure des conditions d'ionisation optimales pour la gravure ionique réactive, offrant des vitesses de gravure uniformes et une sélectivité accrue. Le contrôle manuel du débit de gaz permet d'affiner les vitesses de gravure et d'uniformiser les résultats. De plus, l'outil comprend un outil de verrouillage de charge intégré, qui assure la manutention sécurisée du matériel et le contrôle automatisé des processus pendant chaque cycle. OXFORD Plasmalab 80 Plus propose également une large gamme d'accessoires, tels que des supports de plaquettes, des revêtements et des équipements de traitement supplémentaires. Cela permet une configuration personnalisée en fonction des besoins spécifiques des clients et en fait un choix optimal pour une variété d'applications. Dans l'ensemble, Plasmalab 80 Plus est un modèle de graveur d'ions réactif avancé et fiable, offrant une excellente précision et répétabilité, permettant d'obtenir des résultats parfaits dans diverses applications. La flexibilité et la compatibilité de l'équipement en font un choix idéal pour tout processus de microfabrication.
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