Occasion OXFORD Plasmalab 80 Plus #9384679 à vendre en France
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ID: 9384679
PECVD System
PC
PLC Controller
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 2033C2 / R301B.
OXFORD Plasmalab 80 Plus est un graveur/asher de pointe qui offre un excellent contrôle des paramètres critiques de gravure et d'ashing. Sa conception avancée assure un contrôle précis de la gravure et de la cendre afin de maximiser l'uniformité des processus et les rendements des appareils. L'unité est équipée d'une antenne magnétron circulaire parfaitement contrôlable pour garantir des paramètres de processus reproductibles. En outre, il dispose d'une alimentation multi-gamme qui fournit une réponse très transitoire aux paramètres du processus, permettant des réglages rapides au besoin. Plasmalab 80 Plus dispose d'une conception avancée de chambre à vide qui maximise la protection contre la corrosion, ainsi que d'une variété de mécanismes de transport de plaquettes pour fournir des processus de gravure et d'ashing cohérents efficaces. Il est en outre équipé de plusieurs systèmes de surveillance et de contrôle des processus, dont un moniteur de débit de gaz, un régulateur de pression et un analyseur de pureté des gaz, afin d'assurer des résultats cohérents et fiables. OXFORD Plasmalab 80 Plus offre des interfaces utilisateur avancées qui simplifient le fonctionnement et minimisent les erreurs de l'opérateur. L'équipement de contrôle fournit une rétroaction sur les paramètres du processus en temps réel et permet également l'enregistrement et l'analyse efficaces des données. Pour une gravure plus complexe, Plasmalab 80 Plus propose plusieurs options. Un système de mélange des gaz de procédé permet de mélanger efficacement plusieurs gaz et un module d'étalonnage automatisé des gaz permet de minimiser la dérive du procédé dans le temps. Un moniteur d'oxygène à bord aide à s'assurer qu'un processus de gaz inerte est utilisé pour des applications critiques. OXFORD Plasmalab 80 Plus est une unité polyvalente et puissante capable de fournir une excellente uniformité de processus et des rendements pour une large gamme d'applications de gravure et de cendrage. Ses systèmes de contrôle avancés et les interfaces utilisateur simplifient le fonctionnement, tout en fournissant un retour sur les paramètres de processus en temps réel. Pour des applications de gravure plus complexes, une machine de mélange de gaz de procédé et un module d'étalonnage automatisé des gaz assurent des résultats fiables et réduisent la dérive des processus au fil du temps.
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