Occasion OXFORD Plasmalab 80 Plus #9398272 à vendre en France

OXFORD Plasmalab 80 Plus
ID: 9398272
Reactive Ion Etcher (RIE) / PECVD System.
OXFORD Plasmalab 80 Plus est un équipement de graveur/asher intégré haute performance adapté à la recherche et à l'éducation. Il est capable d'un traitement précis des échantillons pour différents matériaux, y compris le silicium et les polymères. Le système complet comprend l'unité de base, une optique orientée vers le bas, une optique orientée vers le haut et une unité de traitement des gaz. L'unité de base est une chambre hermétique de précision intégrée dans un cadre avec des dispositions pour le câblage électrique et une machine de commande. Cette chambre est construite à partir d'acier inoxydable, d'aluminium anodisé et de matériaux acryliques renforcés et contrôle la température de remblai d'hélium avec un couvercle breveté scellé. Les procédés de production pré-mélangés fournis par l'unité de base assurent des performances stables et donnent des résultats homogènes. L'optique orientée vers le bas fournit un éclairage uniforme sur la surface du substrat et ses colonnes lumineuses numériques assurent un outil d'imagerie haute résolution. L'optique orientée vers le bas a un champ de vision qui peut s'étendre jusqu'à 22,6 mm (1 pouce). Une plage variable de distances de travail est disponible (3,3-11,3 mm). L'atout optique est conçu pour optimiser l'éclairage de la surface de l'échantillon et assurer les meilleures performances possibles. La haute optique couvre une gamme de 0,1-400 Å et peut être utilisée pour la surveillance de la gravure et de la gravure. Il fournit un modèle d'imagerie haute résolution avec un grossissement jusqu'à 1400X et est équipé d'un équipement d'imagerie et de reconnaissance de motifs de pointe. Le système de traitement des gaz de Plasmalab 80 Plus se compose d'une unité de commande principale et de cinq régulateurs de débit massique indépendants ainsi que de vannes de traitement pour contrôler l'acheminement des gaz (oxygène et argon). L'unité d'alimentation en gaz est conçue pour les processus par lots et continus qui peuvent être surveillés et contrôlés avec une gamme complète de logiciels de contrôle des processus. De plus, le contrôleur est capable de surveiller les substrats et les matériaux, de métrologie des dépôts et de modélisation. OXFORD Plasmalab 80 Plus est un outil de pointe pour le traitement et le conditionnement précis de divers matériaux et est idéal à des fins éducatives et de recherche. Les performances exceptionnelles et l'ingénierie intégrée dans la machine en font un choix idéal pour des processus de gravure et de cueillette fiables et précis.
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