Occasion OXFORD Plasmalab 80 Plus #9409921 à vendre en France
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ID: 9409921
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2009
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) System, 8"
Diameter electrode: 460 mm, 4"-12"
Chamber uniformity: <2%
Silicon nitride and silicon dioxide layers
Top electrode, 18.75"
With shower head gas
Electronics and vacuum component
Mass flow controller
Wall mounted gas pod
(6) MFC Gas controllers
Gases: He, N2, N2O, NH3, 5% SIH4 / 95% N2, 80% CF4- 20% O2
PC Controller
Advanced graphics and process recipe pages
Vacuum pump and blower package
Power supply: 208 V, 18 A, 3Phase
2009 vintage.
OXFORD Plasmalab 80 Plus est un graveur/asher de pointe conçu pour fournir des performances précises et efficaces dans une variété d'environnements commerciaux et de laboratoire. Construit à partir des dernières technologies et du flux de processus avancé, il construit des couches de métal et d'autres matériaux à des épaisseurs précises, rapidement et avec précision. La machine est basée sur un ensemble chambre et pompe soigneusement conçu, qui est capable de pomper jusqu'à 55 litres d'argon à 500 mbar. Ceci est contrôlé par un logiciel de haute précision qui permet aux utilisateurs de surveiller et de contrôler avec précision le processus de gravure/cueillette. La chambre est équipée de la dernière optique électronique, qui aide le processus de gravure/cueillette à se dérouler plus efficacement et avec précision. Des sources spécialisées de plasma à couplage inductif (ICP) sont également installées, qui sont fabriquées à partir de matériaux de la plus haute qualité et offrent une puissance de dépôt accrue allant jusqu'à 1000 W. Grâce à ces sources améliorées et à l'optique, Plasmalab 80 Plus est en mesure de réaliser d'excellentes performances de gravure/cueillette en seulement quelques minutes. De plus, les sources peuvent réaliser une gravure/cueillette 50 % plus rapide qu'auparavant. Les autres composants de ce graveur/asher comprennent une pompe à vide turbomoléculaire haute performance et un régulateur de débit massique rapide (MFC). La pompe à vide peut atteindre des pressions supérieures de 1,3 x 10 -5 Torr pendant le processus, tandis que le MFC fournit un contrôle de température à haute vitesse. Un ensemble séparé est utilisé pour optimiser le processus de gravure/ashing en fournissant des sources d'énergie supplémentaires de haute puissance et un contrôle de processus avancé. La grande précision d'OXFORD Plasmalab 80 Plus est ce qui le distingue parmi ses concurrents. Il peut ajuster avec précision les paramètres de gravure/ashing jusqu'à un millième de millimètre, permettant aux utilisateurs de produire des résultats très précis. Les performances fiables de la machine garantissent également un gaspillage et un coût minimes, car elle produit des résultats cohérents et précis. Dans l'ensemble, Plasmalab 80 Plus est un choix idéal pour ceux qui ont besoin d'une gravure précise et efficace pour leurs projets. Grâce à sa conception avancée, ses performances fiables et sa grande précision, il est parfait pour les environnements commerciaux et de laboratoire. Son étiquette de prix peut sembler raide, mais la machine offre un excellent retour sur investissement.
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