Occasion STS / CPX Multiplex ICP #293609292 à vendre en France
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STS/CPX Multiplex ICP est une technologie de graveur et d'asher utilisée pour créer des composants microélectroniques de haute qualité. C'est une technologie de référence pour l'industrie qui offre des débits élevés, des résultats de processus fiables et des coûts de matériaux réduits. Cette technologie a une conception modulaire qui peut être adaptée aux besoins spécifiques du client. STS Multiplex ICP est un graveur à plasma et asher conçu pour fabriquer des plaquettes semi-conductrices et procéder à des structures MEMS, y compris des couches de photorésist et de masquage de gravure. L'équipement utilise la technologie avancée ICP (Inductively Coupled Plasma), qui peut être adaptée à divers processus plasmatiques tels que la gravure sèche, la gravure humide et le cendrage. Il a également la possibilité d'être déclenché et contrôlé par un contrôleur de base PC. CPX Multiplex ICP est un système à chambre unique qui contient à la fois des capacités de gravure et de cueillette. Le procédé de gravure est basé sur une source hyperfréquence pneumatique à couplage inductif basse fréquence. Cela signifie que l'unité peut gérer efficacement les étapes de gravure sans avoir besoin de chambres séparées. La machine utilise une technologie spéciale pour répartir uniformément le plasma sur la grande surface du substrat. Cela permet un contrôle précis du processus de gravure et des résultats cohérents. Le processus de cueillette est basé sur un oxygène chimique à pression atmosphérique standard. L'outil est également équipé de chargement automatique de plaquettes et dispose d'un débit élevé de jusqu'à 12 plaquettes par heure. Il a un atout précis de régulation de la température, qui maintient des températures stables pour éviter toute détérioration thermique sur le substrat. Il dispose également de capacités avancées de surveillance du traitement pour garantir des résultats reproductibles. L'ICP multiplex est une solution idéale pour les applications microélectroniques de haute performance. Il est facile à intégrer avec divers systèmes de surveillance des processus et est compatible avec divers logiciels pour un contrôle précis du traitement. Ce modèle etcher and asher offre une excellente répétabilité et un débit élevé, offrant une productivité améliorée, des économies de coûts, et un rendement amélioré.
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