STS / CPX Multiplex ICP d'occasion à vendre
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STS / CPX
Multiplex ICP
Deep Reactive Ion Etcher (DRIE), 6" Type: Non-MESC Anisotropic etch Vacuum Plasma Materials: Silicon
188
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STS / CPX
Multiplex ICP
Si Etcher, 6" Pressure controller: VAT PM-7 65046-PA52-AJAI/0016 Gas module: Chamber: Ar 100SCCM O2
188
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STS / CPX
Multiplex ICP
Al Etcher, 6" Pressure controller: VAT PM-7 65046-PA52-AJAI/0016 Gas module: Chamber: CL2 50SCCM HB
252
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STS / CPX
Multiplex ICP
DRIE Etcher Type of load lock: Single wafer load lock Process modules: Module 1 Module type: ASE Pro
190
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STS / CPX
Multiplex ICP
Dry etcher, 8" BOSCH Process Handler Chiller Turbo pump HF Generator Carousel vacuum load lock With
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