Occasion STS / CPX Multiplex ICP #293619106 à vendre en France

STS/CPX Multiplex ICP est un équipement de graveur/asher à grande échelle et à la fine pointe de la technologie des matériaux appliqués. Il s'agit d'un système multifaisceaux entièrement intégré qui intègre une source d'ions, une configuration optique par aimant et une plate-forme de dépôt de haute précision pour un contrôle précis de la profondeur du film cristallin. L'unité est équipée d'une source d'ions double, capable de traiter une gamme de matériaux allant du germanium au gallium. La double source permet la gravure simultanée de deux couches, obtenant un profil de gravure plus précis qu'une seule source. Il offre également une large gamme de gaz de gravure, permettant de traiter une variété de matériaux. Les faisceaux d'ions peuvent être focalisés sur le site avec une grande précision, permettant à la fois des profils de gravure de haute qualité et des taux de défauts faibles. La conception du porte-substrat fournit une plate-forme stable pour le contrôle précis du dépôt du substrat. La machine utilise une configuration optique à aimant haute puissance avec une puissance aimante réglable, permettant des profils de gravure extrêmement précis et un contrôle précis de l'épaisseur du film cristallin. Cet outil offre un contrôle précis du profil de gravure ainsi qu'une vitesse de gravure allant jusqu'à 800 nm/min. La puissance élevée permet un contrôle précis des paramètres du faisceau d'ions, y compris l'énergie et la portée des ions, le diamètre du faisceau et la vitesse de balayage pour augmenter le contrôle du processus. De plus, le dispositif de limitation de dispersion d'angle aide à réduire les effets néfastes de la diffusion d'ions secondaires et assure la forme précise de la caractéristique gravée. STS Multiplex ICP dispose d'un contrôle plasma avancé, permettant à l'actif d'atteindre des taux de vide ultra élevés avec de faibles pressions de gaz résiduels in situ. Ce modèle offre également un contrôleur plasma au plafond innovant, permettant une meilleure reproductibilité et un développement simplifié de la recette. Enfin, cet équipement est livré avec un logiciel intégré complet qui comprend une boîte à outils de modélisation et une interface utilisateur. La boîte à outils de modélisation aide les ingénieurs à optimiser leurs processus de gravure, tandis que l'interface utilisateur facilite l'écriture et l'exécution des recettes pour un développement rapide des processus. Il permet également le traitement à recette unique de nombreux matériaux et substrats différents. CPX Multiplex ICP est un graveur/asher idéal pour toute application industrielle ou de recherche. Utilisant une double source d'ions, un contrôle plasma avancé et une plate-forme de dépôt de haute précision, ce système fournit un contrôle précis de la vitesse de gravure et de la géométrie des caractéristiques, ce qui le rend bien adapté aux processus de gravure les plus exigeants.