Occasion STS / CPX Multiplex ICP #293684725 à vendre en France

ID: 293684725
Taille de la plaquette: 8"
Etcher, 8".
STS/CPX Multiplex ICP est un graveur/asher conçu pour des processus de gravure et d'ashing de haute précision, idéal pour l'environnement de laboratoire. Le graveur/asher dispose d'un design modulaire intégré avec un contrôle numérique de la température, du gaz et de la pression. STS Multiplex ICP utilise une technologie de gravure et de cendrage ionisée ou à base de plasma utilisant des gaz d'argon, de xénon ou de krypton pour obtenir des processus de gravure extrêmement précis sur un large éventail de substrats. L'équipement utilise un mélange d'électricité en courant continu pulsé et d'une fréquence radio spécifique (RF) pour créer des particules ionisées, ou plasma, qui est ensuite délivré à la surface du substrat. La fréquence précise garantit que juste la bonne température et la densité du plasma est atteinte pour atteindre les processus de gravure et de cueillette précis requis. Le système utilise de multiples canaux de distribution de puissance pour assurer la délivrance précise et même plasma, assurant la gravure précise ou l'ashing des substrats même les plus sensibles. Le plasma précis et la puissance de distribution de CPX Multiplex ICP peut graver et ashe même les substrats les plus délicats sans risque de dommages. L'unité fonctionne à des niveaux de fréquence et de puissance variables permettant à l'opérateur d'adapter le processus de gravure au type et à l'épaisseur du substrat. La précision du processus de gravure et d'ashing de la machine est encore améliorée par l'inclusion d'un réglage à fréquence variable qui permet de maintenir un rendement et une répétabilité constants du processus sur plusieurs cibles et substrats. L'outil est également très précis et polyvalent, avec une fenêtre de processus allant jusqu'à 10 000 cm/s, un contrôle de la température et de la pression allant jusqu'à 400 degrés Celcius et 0.001mBar, respectivement. L'atout polyvalent de distribution de puissance de Multiplex ICP permet de réaliser un large éventail de processus de gravure et d'ashing sur différents substrats. STS/CPX Multiplex ICP de STS est un modèle de gravure et de cueillette très précis et polyvalent, adapté à l'environnement de laboratoire, fournissant des pièces gravées et aspirées de précision, même sur les substrats les plus délicats. L'équipement dispose d'un contrôle numérique de la température, du gaz et de la pression, de plusieurs canaux de distribution de puissance et d'un réglage à fréquence variable pour assurer des processus de gravure et de cueillette précis et reproductibles. Le processus de gravure et d'ashing du système peut être effectué à des températures allant jusqu'à 10 000 cm/s et jusqu'à 400 degrés Celcius.
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