Occasion STS / CPX Multiplex ICP #9303047 à vendre en France

STS/CPX Multiplex ICP est un équipement de graveur et asher sophistiqué utilisé pour le contrôle critique des applications des procédés plasmatiques. Ce système est le mieux adapté pour la gravure profonde, les échantillons à haut rapport d'aspect et les piles diélectriques et les tâches de nanolithographie. STS Multiplex ICP s'est avéré être la meilleure solution pour les couches de liaison hydrophobes résistant à la gravure, l'élimination de l'oxyde de dos, la gravure du masque de carbone et la gravure sélective SiO2. Ses fonctionnalités riches en fonctionnalités en font également un excellent choix pour la gravure plasma et l'ashing de masque de soudure, matériaux diélectriques FEOL, nanofabrication, multi-niveaux MEMS et BioMEMS emballages applications. En termes de caractéristiques physiques, CPX Multiplex ICP est une unité à grande vitesse, à l'échelle de la zone équipée d'outils avancés de surveillance et de contrôle des processus. Il est conçu pour un contrôle optimal de la fréquence énergétique, un générateur multi-puissance, un contrôle de la puissance d'extraction multi-étages et un contrôleur PC embarqué. Sa machine de contrôle de processus avancée permet une production rapide et efficace de microstructures complexes et homogènes. En termes de performance, l'ICP multiplex est capable de fournir des résultats de gravure optimaux pour divers paramètres de processus tels que l'atmosphère de chambre, l'ionisation, le dépôt et les taux de gravure. Il dispose d'un générateur multi-puissance unique avec contrôle de chambre indépendant afin d'assurer un contrôle précis des processus de gravure et de dépôt. Il dispose également d'un outil de contrôle de puissance d'extraction multi-étapes pour l'optimisation complète du processus de gravure. En termes de sécurité, l'ICP multiplex STS/CPX est équipé d'un bouclier de sécurité. Ce bouclier offre une protection maximale contre le contact accidentel avec le rayonnement UV et les risques chimiques et mécaniques, ainsi que le plasma très chargé et dangereux. En outre, l'actif est également équipé d'une variété de systèmes de contrôle, tels qu'une alarme de tolérance au plasma, une alarme de contamination de la salle blanche et une alarme de surintensité du générateur RF. Enfin, STS Multiplex ICP est capable de fournir des performances, la qualité et la fiabilité dans les applications de gravure et d'ashing à un prix abordable. C'est une solution polyvalente pour les industries et les laboratoires qui cherchent à exécuter des tâches qui nécessitent précision et précision. Grâce à sa capacité d'utilisation et de protection efficaces, CPX Multiplex ICP est un excellent choix pour les graveurs et les cendriers qui cherchent à optimiser leurs processus de production rapidement et de façon rentable.