Occasion STS / CPX Multiplex ICP #9313228 à vendre en France
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ID: 9313228
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2005
Si Etcher, 6"
Pressure controller: VAT PM-7 65046-PA52-AJAI/0016
Gas module:
Chamber:
Ar 100SCCM
O2 100SCCM
SF6 300SCCM
C4F8 200SCCM
RF Generator:
ENI ACG-3B 13.56
ENI ACG-10B-07
ADVANCED ENERGY LF-5 AE 50~460MHz
Chiller: AFFINITY RWA-012L-CE35CBD4 STS
Turbo pump: LEYBOLD MAG 1500CT
Dry pump: EDWARDS iQDP80
Pump: VARIAN SH100
2005 vintage.
Les graveurs multiplex STS/CPX sont un type de graveur ou de cendrier qui utilise la technologie du plasma à couplage inductif (PIC) pour graver ou cendrer une variété de photorésistes et d'autres produits. Cet etcher est un outil très efficace qui permet un contrôle précis des paramètres du processus tels que la puissance, la fréquence, le débit de gaz et la pression. STS Multiplex ICP etcher est conçu avec une chambre flexible qui peut être configurée avec différentes sources ICP, selon l'application et le matériau en cours de traitement. Les sources ICP peuvent être commutées rapidement, ce qui permet un passage rapide d'un poste à l'autre. L'équipement comprend également un système de distribution de gaz et un groupe de refroidissement qui permet l'introduction de divers gaz dans la chambre. Les gaz peuvent être utilisés pour produire une gravure spécifique ou un motif de cendres et peuvent être ajustés pour contrôler la vitesse de gravure et la sélectivité. CPX Multiplex ICP etcher est conçu avec un certain nombre de fonctionnalités qui le rendent idéal pour une large gamme d'applications. Le contrôle de puissance de précision permet une meilleure uniformité de gravure ou de cendres et permet à l'utilisateur d'obtenir une gravure ou un cendrage de substrat très précis. De plus, l'unité est équipée d'une fonction auto-focus qui permet l'auto-focalisation du plasma afin de produire une gravure ou des cendres uniformes. Ceci est particulièrement utile lors du traitement des plaquettes obliques. La machine dispose également d'un outil de refroidissement intégré qui aide à prévenir la surchauffe. En résumé, Multiplex ICP etcher est un outil de gravure ou d'ashing très efficace qui convient à une gamme d'applications. Il dispose d'une chambre flexible qui peut être facilement reconfigurée pour répondre aux exigences spécifiques du travail en question, et la fonction auto-focus et l'actif de livraison de gaz réglable fournissent un excellent contrôle sur le taux de gravure et la sélectivité. En outre, la puissance de précision et les systèmes de refroidissement permettent d'améliorer l'uniformité et d'éviter la surchauffe du modèle.
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