Occasion STS / CPX Multiplex ICP #9363067 à vendre en France

STS/CPX Multiplex ICP (Inductively Coupled Plasma) est un graveur/asher conçu pour le traitement des matériaux semi-conducteurs, avec une grande précision et répétabilité. Il offre une capacité de gravure/cendres monobloc sur une large gamme de fabrications impliquant des gravures à haut rapport d'aspect et des matériaux anodiques. Les systèmes ICP multiplex STS sont équipés de guides d'ondes à double RF et de multiples entrées de gaz de processus avec des débits allant jusqu'à 600 SLM, ce qui permet à l'utilisateur d'appliquer des conditions de gravure et de cueillette optimisées en une seule fois. Le plasma RF double source crée une distribution et un profil d'énergie ionique homogènes et équilibrés sur toute la surface du substrat. CPX Multiplex ICP offre un contrôle indépendant de l'énergie RF des différentes sources RF avec le fonctionnement du générateur double puissance. Il supporte jusqu'à deux configurations de chambre pour un seul substrat, pour faciliter les films avec plusieurs gravures ou étapes d'aspiration avec plusieurs conditions et gaz. Cet équipement peut être personnalisé en fonction des exigences de processus pour offrir une large gamme de tailles de plaquettes, d'épaisseurs et de matériaux. Un système de blindage interne avancé assure une répartition uniforme de l'énergie RF sur l'ensemble du substrat. Le logiciel convivial de l'unité offre des options de contrôle de processus flexibles, permettant à l'utilisateur de personnaliser les recettes pour chaque gravure ou étape de cueillette. La commande de surpression/dépression offre un contrôle de pression réglable et précis et une isolation pneumatique des chambres, assurant un processus simple et fiable sur toute la surface du substrat. Pour faciliter la gravure et le cendrage des couches minces, des tranchées profondes, des vias à haut rapport d'aspect et des vias à haute densité, Multiplex ICP fournit une machine de contrôle de planarisation (PCS) brevetée. Cette technologie permet la gravure uniforme de plusieurs couches de matériaux et la surgravure des caractéristiques de rapport d'aspect profond et élevé. La vaste gamme de technologies de gravure et d'ashing de l'outil, les homogénéités supérieures et les résultats reproductibles en couches minces garantissent à l'utilisateur la meilleure qualité de production à chaque fois. STS/CPX Multiplex ICP est la solution idéale pour les applications de gravure et de cueillette de grand volume et de précision.