Occasion STS / CPX Multiplex ICP #9363068 à vendre en France

ID: 9363068
PECVD System.
STS/CPX Multiplex ICP est un équipement de gravure et de gravure plasma haut de gamme qui a la capacité de manipuler une variété de substrats, y compris l'oxyde de silicium et le quartz. Il dispose d'un chargeur descendant multi-fentes avec support pour jusqu'à 12 substrats et deux chambres de processus. Les chambres de processus disposent de ventilateurs de refroidissement intégrés et d'alimentations électriques indépendantes à haute fréquence pour la gravure et le cendrage. Le processus de cueillette donne des résultats répétables avec des substrats de carbure et de quartz. Le système est basé sur l'Addison Engineering Advanced Digital Imaging Technology (ADIT). Cette technologie d'imagerie de pointe fournit une image haute résolution du substrat à chaque passage fournissant un contrôle précis du processus. L'unité peut être utilisée pour graver et asher divers substrats tels que des plaquettes de silicium, des métaux, du quartz sur des MEM, des LCD et d'autres matériaux spécialisés. Il peut également être utilisé pour graver et asher des couches de couches minces pour des processus de photolithographie. La machine dispose d'une fonction d'adaptation automatique intégrée qui peut être utilisée pour ajuster les paramètres du processus afin d'assurer des résultats reproductibles. L'outil dispose également d'un outil de contrôle informatique intégré qui peut être utilisé pour surveiller et contrôler les processus de gravure et de cueillette à partir d'un seul endroit. Le modèle comporte également des systèmes de verrouillage de sécurité pour prévenir tout accident potentiel. STS Multiplex ICP peut être utilisé dans une variété d'industries telles que les semi-conducteurs, dispositif médical, photovoltaïque, LED, et MEM. L'équipement est également compatible avec une variété de produits chimiques, dont le fluorure d'hydrogène, l'acide chlorhydrique, l'acide sulfurique et les produits chimiques à base de chlore. Le système est également équipé de dispositifs de sécurité qui protègent les utilisateurs contre l'exposition à des produits chimiques et à des fumées dangereuses. CPX Multiplex ICP est une unité de gravure/ashing plasma extrêmement fiable qui offre des résultats cohérents et une répétabilité. La machine est facile à utiliser et les fonctions de contrôle automatisé le rendent simple à surveiller et à contrôler le processus. L'outil est une option pratique et rentable pour graver et aspirer une variété de substrats.
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