Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293625497 à vendre en France
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ID: 293625497
Style Vintage: 2005
Diffusion furnace
Control system
Heater temperature: 600°C-900°C
Load port
FIMS
Wafer transfer
Boat elevator / Seal cap rotation
Auto shutter
Heater model
N2 Load lock
Boat operation
Process: LPCVD
Si SEMI STD-Notch, 12"
Furnace temperature controller: M780
HTR
Power box
Carrier transfer
Mechanical driver
Exhaust box
Front and rear upper cover
Final valve box
Gas flow chart
O2 Analyzer
Hard Disk Drive (HDD)
Does not include HCT
User interface:
MMI and gas flowchart: Gas box and front operation panel installed
Pressure display Unit: Mpa / Torr
Carrier type: FOUP / 25slots SEMI STD
Fork meterial: Al203 and PEEK
W/T Type: 1+4 Edge grip
16-Carrier stage capacity
Wafer notch aligner
RCU
UPS
Power distribution system:
3-Phase connection type: Star connection
Single-Phase connection: Grounded
Single-Phase voltage
Gas distribution system:
FUJIKIN Integrated Gas System (IGS)
IGS Final filter, regulator: MFC Z500 Type
MKS Capacitance manometer vacuum gage - press monitor (133 Kpa)
Power supply: 400 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H est un graveur/asher à chambre unique commandé par ordinateur. Il est conçu pour fournir des résultats de haute précision lors du processus de gravure et de cueillette dans les applications de microfabrication et de semi-conducteur. L'équipement est équipé de multiples options et de fonctionnalités complètes pour assurer la précision et la répétabilité du processus. Le composant principal de TEL Formula-1S-H est la chambre de gravure/couchage. Il est construit en acier inoxydable et a une capacité maximale de 600 litres. A l'intérieur de la chambre, un gaz source est introduit et une atmosphère sous vide est maintenue pour un processus de gravure et de cueillette précis. La température à l'intérieur de la chambre est également régulée par un régulateur électronique de température précis. Le contrôle précis de la température assure des résultats précis ainsi que la répétabilité du procédé. Le système fournit également plusieurs accessoires en option pour améliorer le processus. Il peut être équipé d'un refroidisseur d'eau pour prévenir la contamination croisée et assurer un contrôle précis du processus. Pour une meilleure résolution, un plateau secondaire peut être ajouté à l'unité pour une gravure précise à plus haute résolution. Une plaque de retournement est également disponible pour une gravure verticale précise. TOKYO ELECTRON Formula-1S-H a plusieurs avantages : il est simple à utiliser et offre des résultats précis ; il est polyvalent et permet d'ajuster différents paramètres en fonction des exigences ; il est compatible avec différents paramètres de gravure et d'ashing, y compris la gravure à haute densité ; et ses caractéristiques de sécurité garantissent une exposition minimale aux gaz dangereux. La machine est facile à intégrer dans la ligne de production existante. Il peut être connecté à un ordinateur pour fournir des données de processus, surveiller le processus et assurer la répétabilité des résultats. Il peut également être intégré à d'autres systèmes tels que SEM, AFM, et wafer steppers pour augmenter encore l'efficacité des processus. Dans l'ensemble, Formula-1S-H est un graveur et asher fiable et précis. Ses performances élevées et un certain nombre de caractéristiques supplémentaires en font le choix idéal pour diverses applications de microfabrication et de semi-conducteurs.
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