TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H d'occasion à vendre
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Furnace Process: TEOS Gas flow chart Gases: Pure N2, 20% F2 / N2, HF, Q2 Power box Exhaust box WAVES
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Diffusion furnace Control system Heater temperature: 600°C-900°C Load port FIMS Wafer transfer Boat
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Diffusion furnace Control system Heater temperature: 600°C-900°C Load port FIMS Wafer transfer Boat
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