Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293647206 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H est un équipement avancé de gravure et de cendrage conçu pour les procédés de production manuelle et automatisée de semi-conducteurs. Le système est construit sur une plate-forme d'architecture ouverte, permettant une flexibilité maximale dans le choix des logiciels, des matériaux et des composants. L'unité graveur-asher est constituée d'une chambre de traitement, alimentée par un agitateur électromagnétique à grande vitesse et une plaque chauffante, qui sert à préchauffer les plaquettes avant traitement. La chambre est capable d'effectuer des cycles de cendrage et de gravure sous ultra-haut vide (UHV), et est également équipée d'une puissante source de plasma haute fréquence. L'unité dispose d'une machine de chargement et de déchargement de plaquettes très efficace, avec la capacité de gérer une grande variété de diamètres de plaquettes (de 2 « à 6 »). La configuration permet également un fonctionnement manuel ou automatisé, ce qui la rend idéale pour les déploiements de production. Le contrôle du processus est très avancé, permettant des paramètres détaillés, la surveillance et la documentation de chaque étape de traitement. Cela garantit une répétabilité maximale et la qualité du produit. D'autres caractéristiques comprennent une alimentation en gaz embarquée de grande capacité, avec un contrôle de débit de haute précision pour des résultats de gravure/cueillette cohérents. L'outil peut également être intégré avec un outil de métrologie en ligne et un outil de nettoyage de plaquettes en temps réel, pour une efficacité accrue et un contrôle de qualité intégré. TEL Formula-1S-H etcher/asher a été conçu pour répondre aux normes de l'industrie des semi-conducteurs, fournissant des résultats sûrs et fiables et en faisant un choix idéal pour les environnements de production axés sur l'automatisation. Le modèle est facile à installer et à entretenir, avec une intervention minimale de l'utilisateur et une installation de calibration intégrée. Cela le rend idéal pour les opérations modernes de fabrication de semi-conducteurs.
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