Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293651983 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H etcher/asher est conçu pour des applications de gravure de plaquettes à haut débit fiables. L'équipement dispose d'une architecture brevetée à trois zones, avec un sas de charge et une chambre de transfert, un antichambre, et une zone de réaction de gravure, pour des processus d'oxydation et de gravure efficaces. TEL Formula-1S-H utilise un logiciel intégré pour le contrôle et la surveillance automatisés et répétables des processus. L'unité est conçue avec une chambre de formage et de nettoyage à vide élevé, capable de former un environnement à vide élevé de 1x10-6 torr. Un collecteur de refroidissement automatisé assure un refroidissement uniforme et répétable du substrat avant gravure. Une interface utilisateur simple et intuitive permet à l'utilisateur de programmer rapidement les conditions de processus et les débits de gaz. La chambre principale contient une zone de réaction pour la gravure d'échantillons, dotée d'un générateur haute fréquence à fréquence variable pour un contrôle précis de la puissance de gravure. Un bras de levage rotatif ajoute à la stabilité de la machine et permet une gravure variable et répétable. La chambre dispose également de régulateurs de débit massique ultra haute résolution (MFC) pour assurer le contrôle des processus mains libres et la régulation de la puissance RF grâce aux réglages de puissance en direct dans l'unité de commande électronique (ECU). TOKYO ELECTRON Formula-1S-H etcher/asher comprend également des fonctionnalités supplémentaires telles qu'un contrôle multi-zones amélioré, une uniformité de gravure supérieure, un chargeur à cassette de grande capacité, un collecteur de chauffage de substrat amélioré et une chambre en acier inoxydable résistant au redox. Un outil de lavage à ressort unique réduit encore le temps de processus, tandis qu'un outil de nettoyage automatique réduit la formation de résidus de gravure et augmente la durée de vie utile des composants internes. Formula-1S-H etcher/asher utilise une variété d'options de sécurité, telles que l'épuration des gaz avec de l'azote, le plénum d'échappement latéral, et d'autres emboîtements. Un port infrarouge avancé est prévu pour surveiller la température de la chambre, et un modèle complet de surveillance et de contrôle des processus, ainsi que l'acquisition de données de processus en temps réel sont inclus afin d'assurer une fiabilité maximale du processus. En conclusion, TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H etcher/asher est un équipement très fiable et efficace pour les applications de gravure et de cendrage. Un certain nombre de caractéristiques avancées sont incluses pour assurer des résultats cohérents, ainsi que de nombreuses caractéristiques de sécurité. Ce système est bien adapté aux applications de gravure et de cendrage de volume moyen à élevé, et est soutenu par TEL un service et un support de pointe de l'industrie.